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[发明专利]准分子激光器能量掉点恢复方法及装置-CN202210415545.3在审
发明人：梁赛;冯泽斌;王吉亮;刘锴锋;徐向宇;刘广义;江锐;刘斌;陈佩佩 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量掉点恢复方法及装置。该方法包括以下步骤：在功率放大放电腔(104)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，以及功率放大放电腔(104)在当前脉冲的出光能量和抵消能量信号，调整下一个脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值；在主振荡放电腔(103)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，调整下一次脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。
准分子激光能量恢复方法装置

[发明专利]激光器电源的实时反馈控制系统-CN202310597251.1在审
发明人：潘志辉;张和君;吴兴发 -专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本公开提供一种激光器电源的实时反馈控制系统，包括供电单元、开关单元、稳流单元、驱动单元、反馈单元、控制单元、以及倍压电路单元；稳流单元经由倍压电路单元向激光器提供工作电流，且在工作电流大于预设值时向控制单元提供过流信号；反馈单元向控制单元提供阻断信号；控制单元接收阻断信号后形成开关断开信号，开关单元接收开关断开信号并处于阻断状态；控制单元包括第一储能元件、第一开关元件、第二开关元件、第三开关元件和第四开关元件；驱动单元与控制单元连接并向控制单元提供导通信号以使控制单元控制开关单元处于导通状态。本公开的激光器电源的实时反馈控制系统，能够实现激光器的工作电流的动态调节并形成过流保护。
激光器电源实时反馈控制系统

[发明专利]具有过压保护功能的激光器电源系统-CN202310594807.1在审
发明人：潘志辉;张和君;吴兴发 -专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本公开提供具有过压保护功能的激光器电源系统，包括供电单元、开关单元、驱动单元、反馈单元、控制单元、以及倍压电路单元；供电单元具有第一电感，反馈单元具有第三电感，第一电感与第三电感互相耦合；开关单元在控制单元的控制下处于导通状态或阻断状态，开关单元处于导通状态时，第一电感形成第一感应电压；第三电感形成第三感应电压；反馈单元向控制单元提供阻断信号，反馈单元基于第三感应电压形成阻断信号；控制单元接收阻断信号后形成开关断开信号，控制单元包括第一储能元件、第一开关元件和第二开关元件；驱动单元与控制单元连接并向控制单元提供导通信号。本公开的具有过压保护功能的激光器电源系统，能够对激光器形成过压保护。
具有保护功能激光器电源系统

[发明专利]气体激光装置和电子器件的制造方法-CN202080106922.4在审
发明人：山之内庸一;梅田博;永井一喜;植山健史 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01S3/0977 文献下载
摘要：本公开的一个观点的气体激光装置具有：主放电电路，其向被配置于激光腔的内部的一对主放电电极供给使其产生主放电的主放电电压；以及预备电离电路，其向被配置于激光腔的内部的预备电离电极供给使其产生电晕放电的预备电离电压。主放电电路具有：升压脉冲变压器；主电容器和开关，它们与升压脉冲变压器的一次侧连接；第1电源，其对主电容器进行充电；第1电容器，其与升压脉冲变压器的二次侧并联连接；第1磁开关，其与第1电容器连接；以及峰化电容器，其经由第1磁开关与第1电容器并联连接，并且与主放电电极并联连接，电晕放电开始的时机与主放电开始的时机之间的间隔为30ns以上且60ns以下。
气体激光装置电子器件制造方法

[发明专利]一种超快激光成丝预电离射频CO2-CN202111658574.4在审
发明人：潘其坤;郭劲;陈飞;张阔;于德洋;张冉冉;孙俊杰;何洋 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01S3/0977 文献下载
摘要：本发明提出了一种超快激光成丝预电离射频CO2激光放大器，引入了超快激光成丝预电离，能够解决大孔径射频放电点火难题。本发明采用超快激光成丝预电离技术，通过CO2激光放大器窗口向放电增益区导入超快激光，调整聚焦镜参数优化超快激光在增益区内的功率密度，实现放电增益区内沿轴向等离子成丝预电离。工作气体的预电离将在增益区形成一定浓度的初始电子，在交变的射频放电电极激励下，初始电子往返振荡在增益区产生电子崩放电点火，可解决大孔径射频CO2激光放大器放电点火电压高、射频反射功率易导致射频电源损坏等难题，实现大孔径CO2激光放大器高效点火及稳定可靠放电。
一种激光成丝预电离射频 co base sub

[发明专利]一种激光器电路、提高激光器稳定性的方法及设备-CN202111668005.8在审
发明人：祁春超;王荣;谭信辉;仇筱乐 -专利权人：杭州海康威视数字技术股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种激光器电路、提高激光器稳定性的方法及设备，涉及激光器领域，用于解决在调节激光器输出的激光能量时，激光器的稳定性降低的问题，实现提高了激光器的稳定性的技术效果。供电电路，被配置为向储能电容供电，且供电电压固定；储能电容，被配置为驱动激光产生电路工作，产生激光；能量采集电路，被配置为采集激光器电路输出的第一激光能量；控制电路，被配置为根据第一激光能量和预设的第二激光能量调整储能电容的容值。本申请实施例用于在激光器工作的过程中。
一种激光器电路提高稳定性方法设备

[发明专利]多元电路耦合的激光器电源系统-CN202211303535.7有效
发明人：潘志辉;张和君;吴兴发 -专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本公开提供一种多元电路耦合的激光器电源系统，包括供电单元、开关单元、稳流单元、驱动单元、反馈单元、控制单元、以及倍压电路单元，供电单元具有第一电感，控制单元具有第二电感，反馈单元具有第三电感，倍压电路单元具有第四电感，第一电感与第二电感、第三电感、第四电感耦合，供电单元与稳流单元、控制单元和开关单元连接，开关单元与控制单元连接，稳流单元与倍压电路单元连接，驱动单元与控制单元连接，反馈单元与控制单元连接。通过本公开提供的多元电路耦合的激光器电源系统，能够通过提升激光器遇到过电等故障时的反馈实时性来提升激光器的电流和电压的稳定性。
多元电路耦合激光器电源系统

[实用新型]一种基于二氧化碳激光器泵浦的太赫兹激光器-CN202223390282.X有效
发明人：朱伟林;袁建;王太民 -专利权人：深圳市泽米激光技术有限公司
申请日： 2022-12-17 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于二氧化碳激光器泵浦的太赫兹激光器，涉及激光器技术领域，包括安装板和射频二氧化碳激光器，安装板的顶面设有甲醇封气腔体，射频二氧化碳激光器的内部设有密封放电腔，甲醇封气腔体和密封放电腔的表面设有真空密封窗片，真空密封窗片分别贯穿甲醇封气腔体和密封放电腔的表面，采用射频二氧化碳激光器作为泵浦源，存储甲醇工作气体的腔体采用高真空密封方式，充好气体后封离，将甲醇工作气体密封在内部，每次使用不需要抽真空再充甲醇工作气体，使激光器可以不需要抽真空设备，移动性强，适应性强。
一种基于二氧化碳激光器赫兹

[发明专利]用于光源的控制装置-CN202180045302.9在审
发明人： K·M·奥布里恩 -专利权人：西默有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：一种控制光源的空闲模式的装置，该光源在生产模式期间产生供输出设备使用的生产光束。该装置包括：指令单元和与指令单元通信的空闲单元。指令单元被配置为创建包括编码属性集合的空闲计划，这些编码属性一起对光源在空闲模式下的操作进行限定，在空闲模式下不产生供输出设备使用的生产光束。集合中的每个属性可以被分配有在连续的值范围内的任何值。空闲单元被配置为与光源通信。空闲单元被配置为：从指令单元接收空闲计划；存储空闲计划；并且在接收到与空闲模式相关的命令后，向光源提供空闲计划。
用于光源控制装置

[发明专利]脉冲供电电源及其准分子激光器-CN202110649559.7在审
发明人：张兵;徐向宇;曹沛;袁钊;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种脉冲供电电源及相应的准分子激光器。该脉冲供电电源包括第一供电模块、第二供电模块、快速响应模块、高压模块、第一储能电容、第二储能电容、电流采样模块、第一电压采样模块和第二电压采样模块。本发明在现有技术的基础上添加快速响应模块，利用该快速响应模块根据实时采集相关反馈电流和电压，调节第一储能电容上的电压，解决现有脉冲供电电源脉冲放电过程存在高压模块响应慢的问题，保证在脉冲负载的脉冲放电过程中脉冲供电电源输出的电压平稳不掉压。
脉冲供电电源及其准分子激光

[发明专利]一种激光器脉冲供电电源和相应的准分子激光器-CN202110650938.8在审
发明人：张兵;徐向宇;曹沛;李学;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光器脉冲供电电源和相应的准分子激光器。该脉冲供电电源包括第一供电模块、第二供电模块、快速响应模块、高压模块、第一储能电容、第二储能电容、电流采样模块、第一电压采样模块和第二电压采样模块。本发明在现有技术的基础上添加快速响应模块，利用该快速响应模块根据实时采集相关反馈电流和电压，调节第一储能电容上的电压，解决现有激光器脉冲供电电源脉冲放电过程存在高压模块响应慢的问题，保证在脉冲负载的脉冲放电过程中激光器脉冲供电电源输出的电压平稳不掉压。
一种激光器脉冲供电电源相应准分子激光

[发明专利]用于光源的控制系统-CN202180018978.9在审
发明人： M·T·莫赫比 -专利权人：西默有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：一种光源，包括：光生成设备，被配置为：在第一时间段期间处于活动状态，在第二时间段期间处于空闲状态，并且在第三时间段期间处于活动状态；以及控制系统。第一时间段发生在第二时间段之前，第二时间段发生在第三时间段之前。激励信号在活动状态下被施加到光生成设备，而在空闲状态下不被施加到光生成设备。该控制系统被配置为基于第二时间段的持续时间和在第一时间段期间的性质的值来估计在第三时间段期间施加到光生成设备的激励信号的性质。
用于光源控制系统

[发明专利]一种阵列式放电元件及阵列电极型脉冲放电气体激光器-CN202210364569.0在审
发明人：吕栋栋;费红阳;彭鸿雁;丁蕴丰;张铁民;王春妮;李功捷;孙丽;张焓笑;潘孟美;刘晓莹;王德波 -专利权人：海南师范大学
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列式放电元件及阵列电极型脉冲放电气体激光器，该放电元件包括金属基板、多个单元电极和多个预电离针；所述金属基板上设置有多个呈阵列排布的电极安装孔；所述单元电极一一对应安装在每个所述电极安装孔中；所述预电离针一一对应套设于所述单元电极的内部中心位置；该气体激光器包括阵列式放电元件、峰化电容、多个储能电容和地电极，所述放电元件与所述多个储能电容对应连接，所述峰化电容一端与所述放电元件连接，另一端与地电极连接；本发明预电离针在电极平面的均匀分布，可以使电极空间的的电离电荷更趋于均匀分布，达到整体均匀预电离的效果，有利于主放电的均匀进行。
一种阵列放电元件电极脉冲气体激光器

[发明专利]一种用于驱动准分子激光器的脉冲电路-CN202011617821.1有效
发明人：游利兵;胡泽雄;方晓东 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于驱动准分子激光器的脉冲电路。该脉冲电路包括触发脉冲电路，所述触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元；所述第一供电单元包括第十电容，用于给第十电容充电的充电电源，用于驱动充电之后的第十电容放电的驱动组件；所述第十电容放电用于给气体激光器的触发端供电。本发明无需其它辅助部件的支撑只通过本发明的第一供电单元的自身属性就可以实现第十电容充放电的切换，只通过控制晶体管栅极上接入的电压即可切换第十电容充放电，使得栅极上的电压高低与第十电容充放电状态同步，从而更进一步使得本发明通过第十电容和第二变压器产生的高电压脉冲具有快前沿和低抖动。
一种用于驱动准分子激光脉冲电路

[发明专利]一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路-CN202011617779.3有效
发明人：游利兵;方晓东;王宏伟;杨礼昭 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路。包括用于触发准分子激光器的装置和用于驱动准分子激光器的脉冲电路；用于触发准分子激光器的装置包括信号采集模块和电信号处理模块；用于驱动准分子激光器的脉冲电路包括触发脉冲电路，触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元；第一供电单元包括第十电容，用于给第十电容充电的充电电源。因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步。因此，本发明在晶体管和第十电容的相互配合作用下，能够产生快前沿低抖动的高压脉冲信号给准分子激光器，以保证准分子激光器的工作性能。
一种用于触发准分子激光产生等离子体电路

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