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[发明专利]一种双波长输出准分子激光器-CN202211176702.6在审
发明人：朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种双波长输出准分子激光器，包括机架，机架内设有准分子激光腔室，准分子激光腔室内设有至少两个放电电极，两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道，机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置，机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组，机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
一种波长输出准分子激光

[实用新型]一种双波长输出准分子激光器-CN202222570315.2有效
发明人：朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双波长输出准分子激光器，包括机架，机架内设有准分子激光腔室，准分子激光腔室内设有至少两个放电电极，两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道，机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置，机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组，机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
一种波长输出准分子激光

[实用新型]一种准分子激光器位置调节机构-CN202321433382.8有效
发明人：白雅苏拉 -专利权人：北京精亦光电科技有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本申请涉及一种准分子激光器位置调节机构，属于准分子激光器技术领域。包括:准分子激光器，该准分子激光器包括机架，机架内设有准分子激光腔室；位置调节机构，该位置调节机构设有两组，两组位置调节机构分别固定在准分子激光器底部的两端；位置调节机构包括驱动准分子激光器沿水平方向移动的水平调节器，以及驱动准分子激光器沿竖直方向移动的竖向调节器。本申请的两组位置调节机构的水平调节器和竖向调节器分别通过水平方向运动和竖直方向运动实现准分子激光器四个自由度方向运动。本申请解决了大质量准分子激光器的装配调节和光路对准问题，位置调节机构通过单人手动或自动即可使大质量准分子激光器与光路系统精确对准。
一种准分子激光位置调节机构

[发明专利]一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路-CN202011617779.3有效
发明人：游利兵;方晓东;王宏伟;杨礼昭 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路。包括用于触发准分子激光器的装置和用于驱动准分子激光器的脉冲电路；用于触发准分子激光器的装置包括信号采集模块和电信号处理模块；用于驱动准分子激光器的脉冲电路包括触发脉冲电路，触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步。因此，本发明在晶体管和第十电容的相互配合作用下，能够产生快前沿低抖动的高压脉冲信号给准分子激光器，以保证准分子激光器的工作性能。
一种用于触发准分子激光产生等离子体电路

[发明专利]一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置-CN202211225386.7在审
发明人：马跃;游利兵;朱能伟;刘弘禹;方晓东;罗凯平 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种深紫外准分子激光传输装置，包括具有密闭空间的壳体，壳体上设有深紫外准分子激光射入窗口和深紫外准分子激光射出窗口，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光路调节装置，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光束准直系统，壳体上还连接有用于向密闭空间内注入减少深紫外准分子激光传输损耗的介质的介质存储装置，壳体上设有充气口及出气口，壳体包括外壳和透明观察窗本发明目的是克服了现有技术的不足，提供能够有效减少深紫外准分子激光传输中的能量损耗并方便直接观察和调试的深紫外准分子激光传输装置。
一种多功能透明结构深紫准分子激光传输装置

[发明专利]准分子激光器的能量控制方法、装置、计算机设备及介质-CN202110838032.9在审
发明人：韩晓泉;吴晓斌;孙泽旭;王魁波;罗艳;沙鹏飞;谢婉露;李慧;马赫 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： H01S3/102 文献下载
摘要：本发明公开了准分子激光器的能量控制方法、装置、计算机设备及介质，该方法包括：获取准分子激光器在第一设定时间段内的第一输出能量数据和第二设定时间段内的第二输出能量数据，构建第二输出能量数据与第一输出能量数据之间的非线性关系，通过非线性关系和准分子激光器当前输出能量数据预测出准分子激光器后续输出能量数据，根据预测出的准分子激光器后续输出能量数据对准分子激光器工作电压进行调节。基于对准分子激光器后续输出能量的预测，本发明能够对准分子激光器的工作电压进行有效控制，以显著提高准分子激光器能量输出稳定性的控制精度，提高准分子激光器能量稳定性和剂量稳定性，为用于半导体器件加工的光刻工艺提供稳定的光源
准分子激光能量控制方法装置计算机设备介质

[实用新型]准分子激光角膜屈光治疗机-CN201521020983.1有效
发明人：张昊志 -专利权人：爱尔眼科医院集团股份有限公司
申请日： 2015-12-10 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： A61F9/008 文献下载
摘要：本实用新型提供一种准分子激光角膜屈光治疗机。所述准分子激光角膜屈光治疗机包括光学系统、主机单元、氩氟混合气供气装置、眼动跟踪系统、准分子激光器系统、裂隙灯和患者床，所述光学系统、所述眼动跟踪系统、所述裂隙灯设于所述准分子激光器系统，所述主机单元和所述氩氟混合气供气装置连接所述准分子激光器系统，所述患者床设于所述准分子激光器系统一侧。本实用新型提供的所述准分子激光角膜屈光治疗机检测准确、使用方便、治疗效果好。
准分子激光角膜治疗

[发明专利]一种产生短脉冲准分子激光的装置及方法-CN202211639508.7在审
发明人：高智星;胡凤明;何运;何洪钰;王钊;李静 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01S3/115 文献下载
摘要：本发明属于准分子激光技术领域，具体涉及一种产生短脉冲准分子激光的装置及方法。其中的装置包括用于容纳混合气的微型气体腔(3)，通过将激光(1)聚焦到微型气体腔(3)内与混合气相互作用发生非线性吸收，产生激光等离子体(4)，进而由激光等离子体(4)中产生准分子激光；混合气是惰性气体和卤素气体的混合物本发明提出了一种利用激光泵浦惰性气体卤化物产生超短准分子激光的技术方案，克服了放电泵浦准分子激光腔和电子束泵浦准分子激光器难以直接输出亚纳秒短脉冲的局限，为超短超强准分子激光的产生提供了简单可靠的超短准分子种子光源，简化了传统的固体/液体‑气体准分子混联放大系统的复杂性。
一种产生脉冲准分子激光装置方法

[发明专利]激光设备及其工作方法-CN201811241857.7有效
发明人：田雪雁 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光设备及其工作方法，属于显示技术领域。其中，激光设备，包括：准分子激光源；第一光学模组，用于在接收到所述准分子激光源发出的激光时，将所述准分子激光源发出的激光传导至第一工艺腔室；第二光学模组，用于在接收到所述准分子激光源发出的激光时，将所述准分子激光源发出的激光传导至第二工艺腔室，所述第二工艺腔室所执行工艺的激光稳定性要求低于所述第一工艺腔室所执行工艺的激光稳定性要求；控制机构，用于控制所述第一光学模组接收所述准分子激光源发出的激光或控制第二光学模组接收所述准分子激光源发出的激光通过本发明的技术方案能够降低激光设备的成本。
激光设备及其工作方法

[发明专利]激光结晶系统和控制准分子激光退火制程能量密度的方法-CN200410049329.3有效
发明人：曹义昌;吴焕照;林文章;张志雄 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2004-06-11 - 公布日： 2004-12-08 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种激光结晶系统和一种实时控制准分子激光退火程序能量密度的方法。该激光结晶系统包含有一准分子激光退火装置与一光学检测装置。该实时控制准分子激光退火程序的能量密度的方法，包含有利用进行一最佳能量密度决定程序，以决定出一最佳能量密度，以及利用该最佳能量密度的准分子激光来进行一准分子激光退火程序。
激光结晶系统控制准分子激光退火能量密度方法

[发明专利]激光气体管理系统、电子器件的制造方法和准分子激光系统的异常判定方法-CN201880088479.5有效
发明人：对马弘朗;铃木夏志;若林理 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：激光气体管理系统包含：气体再生装置，其与多个准分子激光装置连接，将从多个准分子激光装置排出的激光气体再生为再生气体，向多个准分子激光装置供给再生气体；以及控制部，其判定多个准分子激光装置各自的至少一个参数是否超过预先决定的范围，在至少一个参数超过预先决定的范围的准分子激光装置的台数为2以上的情况下，控制部判定为气体再生装置异常。
激光气体管理系统电子器件制造方法准分子激光异常判定

[发明专利]一种窄线宽准分子激光系统和线宽压缩并整形的方法-CN201910449730.2在审
发明人：袁志军;周军;杨军红;江锐;张海波;沙鹏飞;韩晓泉;陈刚 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司;南京中科神光科技有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器技术领域，提供了一种窄线宽准分子激光系统和用于该准分子激光系统的线宽压缩并整形的方法。该系统包括输出耦合镜和激光腔、柔性变焦模块、扩束模块、以及与该扩束模块组成littrow结构的光栅，该方法为先根据准分子激光的波前信息实时调节施加于柔性变焦模块上的驱动值；然后根据该驱动值对准分子激光进行整形和线宽压缩；当准分子激光的波前畸变补偿完成时，停止调节操作并固定驱动值，以得到窄线宽准分子激光。该系统结构简单、控制有效，输出激光的线宽值连续可调；提供的方法操作简单、能够精确补偿高重频激光作用光栅后引起的波前畸变并精确控制线宽值。
准分子激光线宽窄线宽整形光栅波前畸变变焦扩束压缩准分子激光器输出耦合镜波前信息分子激光固定驱动激光作用精确补偿连续可调模块组成实时调节输出激光系统结构驱动激光腔控制线完成时对准施加

[发明专利]一种准分子激光器能量模型辨识方法及装置-CN202110224539.5在审
发明人：冯泽斌;梁赛;徐向宇;江锐;刘广义;刘斌;曹沛 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量模型辨识方法及装置。该方法包括如下步骤：建立用于准分子激光器能量模型辨识的门控循环网络；在多个预设时间内，以单个激光脉冲方式设置能量采集条件，采集用于准分子激光器能量模型辨识的训练数据集；采用训练数据集对已建立的门控循环网络进行训练，达到终止训练条件时，结束训练并得到准分子激光器能量模型。利用本发明所提供的方法，所辨识的准分子激光器能量模型产生的脉冲能量与实际脉冲能量的最大误差小于1.5％，可以满足准分子激光器能量特性控制的仿真需求。
一种准分子激光能量模型辨识方法装置

[发明专利]一种准分子激光器腔体光路的准直调谐方法-CN201010300508.5无效
发明人：连贵君 -专利权人：北京大学
申请日： 2010-01-21 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： H01S3/105 文献下载
摘要：本发明提供了一种调谐准分子激光器腔体光路准直的方法，属于准分子激光器设备技术领域。该方法采用一带有光源和十字图形的调光靶，将调光靶置于准分子激光器的前反射镜一端，分别调整准分子激光器腔体前、后两个反射镜位置，使所述调光靶的十字图形在腔体前、后两个反射镜的成像相互重合及其衍射像对称，从而实现准分子激光器腔体光路准直本发明操作简单，不需要占用准分子激光器空间，且调谐后的激光器腔体光路可达到最高能量值，不必再用能量标准进行调整。
一种准分子激光器腔体光路调谐方法

[发明专利]一种飞秒准分子激光剥蚀采样系统-CN201610279272.9在审
发明人：方晓东;游利兵 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： G01N1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种飞秒准分子激光剥蚀采样系统，包括有飞秒准分子激光系统、传输与聚焦光路、激光剥蚀池和系统控制模块，所述的飞秒准分子激光系统包括有超快固体激光器、耦合光路、紫外准分子激光器和同步控制模块，同步控制模块控制超快固体激光器和紫外准分子激光器的同步触发和延时控制信号，所述的激光剥蚀池包括有样品台、样品台控制模块、实时在线监测模块和检测系统。本发明采用飞秒准分子激光作为剥蚀光源的激光剥蚀采样系统，有效的解决激光系统的稳定性和能量限制问题，最大限度的保证检测系统的精确度、准确性，特别是消除元素分异、基体效应等的影响。
一种准分子激光剥蚀采样系统

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