[发明专利]一种测量透明物体的旋转式相移干涉仪及测量方法

摘要

本发明公开了一种测量透明物体的旋转式相移干涉仪及测量方法，干涉仪包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物、凸透镜、镜面旋转器和CCD相机，所述激光发射器、准直镜、分光器、被测物分布与同一轴线上，所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测，所述镜面旋转器位于被测物底部；本发明使用了最小二乘迭代的算法，将其引入到被侧面可以旋转的干涉仪中，不仅在相对小的空间可以计算出被测表面的面形，并且此算法使得被测物体的面形更加精确。

主权项

1.一种测量透明物体的旋转式相移干涉仪，包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物前表面、凸透镜、镜面旋转器、CCD相机和被测物后表面，其特征在于：所述激光发射器、准直镜、分光器、被测物分布与同一轴线上，所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测，所述镜面旋转器位于被测物底部；激光发射器的出射光线入射到准直镜，准直镜出射的准直光线通过分光器，一部分光线透射过分光器到达被测物前表面，一部分光线透射过分光器、被测物到达被测物后表面，还有一部分光线由分光器将其反射到参考镜面，这三束光线都由镜面反射回分光器；参考镜面反射回来的光线透射过分束器，被测物前表面和被测物后表面反射回的光线经分光器将其反射，此时，返回的光形成干涉，并穿过凸透镜将光线汇聚到CCD相机；其中镜面旋转器旋转调节被测镜面与垂直面之间的角度；所述的被测镜面为前后两个面能反射光线的透明物体。