[发明专利]一种电磁感应加热式纳米压印装置在审
| 申请号： | 201910259870.3 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110007556A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 陈乾;傅欣欣;葛海雄 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H05B6/10 |
| 代理公司： | 江苏法德东恒律师事务所 32305 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁感应加热式纳米压印装置，包括压印腔、升降台、承压台和升降柱。其中，升降台位于压印腔的上方，在升降台上依次放置电磁感应线圈、衬底和铁磁性模板；承压台固定在升降柱上，并位于升降台的上方；升降台与升降柱连接，并能沿着升降柱上下移动；压印腔通过加压管与加压器连接。本发明的装置可以实现热纳米压印的快速升温和快速降温，极大的提高了纳米压印的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 升降台 升降柱 压印 电磁感应加热式 纳米压印装置 纳米压印 承压台 电磁感应线圈 快速降温 快速升温 上下移动 加压管 加压器 铁磁性 衬底 升降 | ||
【主权项】：
1.一种电磁感应加热式纳米压印装置，包括压印腔(1)、升降台(3)、承压台(2)和升降柱(4)，其特征在于，所述升降台(3)位于压印腔(1)的上方，在升降台(3)上依次放置电磁感应线圈(6)、衬底(8)和铁磁性模板(9)；所述承压台(2)固定在升降柱(4)上，并位于升降台(3)的上方；所述升降台(3)与升降柱(4)连接，并能沿着升降柱(4)上下移动；所述压印腔(1)通过加压管(71)与加压器(7)连接。
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- 2019-01-29 - 2019-10-08 - G03F7/00
- 本发明提供了一种长工作距离的等离激元纳米光刻方法，包括：A)制备领结光刻头部；B)制备曝光衬底；C)将领结光刻头部与曝光衬底紧密接触，即为领结光刻头部的第一银膜层与曝光衬底的光刻胶层紧密接触；D)将采用激光光源，经起偏器和物镜调整获得与领结型孔径尖角平行的曝光光场，经曝光、显影得到纳米结构。与现有技术相比，本发明通过在铝质掩膜中涉及领结型结构，可以实现对光场的局域、增强，以获得更高的分辨率；通过银层与PMMA层折射率匹配，可以提升表面等离激元激发效率，延长曝光距离；通过银层‑光刻胶层‑银层组成金属‑介质‑金属结构，能够实现焦深调制，延长曝光深度。
- 一种光刻胶图案的制作方法、彩色滤光片及显示装置-201510617500.4
- 隆清德;康玉龙;梁元;张智勇;樊利伟 - 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
- 2015-09-24 - 2019-10-01 - G03F7/00
- 本发明的实施例提供一种光刻胶图案的制作方法、彩色滤光片及显示装置，涉及显示技术领域，可形成窄线宽的黑矩阵，提高显示装置的透过率和开口率。该方法包括：在衬底基板上涂覆负性光刻胶形成第一光刻胶层，并在第一光刻胶层上涂覆正性光刻胶，形成第二光刻胶层；对第二光刻胶层的第一区域进行第一次曝光，经第一次显影后，去除第二光刻胶层中第一区域的正性光刻胶，以及第一光刻胶层中第二区域的负性光刻胶，得到第二光刻胶层中保留的第一光刻胶图案和第一光刻胶层中保留的第二光刻胶图案；对第一光刻胶图案和第二光刻胶图案进行第二次曝光，经第二次显影后，去除第一光刻胶图案，保留第二光刻胶图案。该方法可应用于彩色滤光片的制作过程中。
- 一种全自动油墨曝光机-201920171516.0
- 梁添贵;倪沁心;杨大昆;陈建明 - 广东华恒智能科技有限公司
- 2019-01-30 - 2019-09-27 - G03F7/00
- 本实用新型涉及曝光机技术领域，尤其是指一种全自动油墨曝光机，包括机架，机架沿着产品加工方向依次设置有上料装置、初定位装置、吸附装置、曝光装置以及下料装置；机架上设置有龙门架，龙门架上设置有四轴机器人，四轴机器人的输出端连接有第一吸附组件，第一吸附组件上设置有至少两个第一定位检测件；机架设置有用于将吸附装置转移至曝光装置中的转移装置，龙门架还设置有用于将物料从吸附装置移料至下料装置的移料装置。本实用新型结构简单，设计合理，实现对油墨板定位曝光的同时，也传送隔板至油墨板，同时对隔板进行定位，实现在油墨板上准确添加隔板的位置，曝光精度高，使用方便，而且可以提高工作效率，减少人工操作难度。
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