专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种纳米压印头及具有该纳米压印头的压印设备-CN201610105092.9有效
  • 王亮;谈浩森;汪仲儒;许凯;张博健;李晨晖 - 中国科学技术大学
  • 2016-02-25 - 2019-10-25 - G03F7/00
  • 本发明公开了一种纳米压印头,包括承重支架、模板吸盘、弹性件和至少三个用于控制承重支架纵向移动的电机组件;电机组件安装于外壳上,且下方设置有承重支架,承重支架下端与至少三个弹性件的上端连接,弹性件的下端设有用于吸附模板的模板吸盘。本发明所提供的纳米压印头中,通过将承重支架与模板吸盘之间设置弹性件,可以使得通过电机的作用进行移动的承重支架在下移压动的过程中,将压力通过至少三个弹性件均匀地传递给模板吸盘,从而提高压印效果和压印性能。本发明还公开了一种包括上述纳米压印头的压印设备。
  • 一种纳米压印具有设备
  • [发明专利]一种涂胶装置及具有该涂胶装置的纳米压印设备-CN201610105073.6有效
  • 王亮;谈浩森;汪仲儒;许凯;张博健;李晨晖 - 中国科学技术大学
  • 2016-02-25 - 2018-04-10 - B05C1/12
  • 本发明公开了一种涂胶装置,包括用于沾取光刻胶的取胶辊和用于将取胶辊上的光刻胶转移到材料上的转移辊,取胶辊和转移辊可沿自身轴线转动的平行设置在支撑架上,支撑架上还设置有用于调整取胶辊和转移辊之间接触紧密程度的微调件。本发明提供的装置中,用于沾取光刻胶的取胶辊和用于转移光刻胶的转移辊可转动的平行设置在支撑架上,且取胶辊和转移辊之间的间距和接触紧密程度可以通过微调件进行调整,实现对光刻胶传递量的控制,合理控制光刻胶量的同时,节省了材料。本发明还公开了一种包括上述涂胶装置的纳米压印设备,该设备由于设置了上述涂胶装置,可以实现光刻胶量的可控设置和合理配置。
  • 一种涂胶装置具有纳米压印设备

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