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[发明专利]一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置及方法-CN201910617378.9有效
发明人：谷岩;林洁琼;陈斯;徐贞潘;颜家瑄;康洺硕;戴得恩;徐宏宇;李先耀;张昭杰;易正发;冯开拓;刘骜;卢发祥;段星鑫 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置及方法摘要一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置及方法，首先利用涂胶装置一、涂胶装置二将压印胶苄基硫醇钯均匀涂抹到衬底一、衬底二表面，然后压印装置一、压印装置二分别对衬底一、衬底二进行压印得到带有纵向光栅结构的衬底一、带有横向光栅结构的衬底二，对衬底一进行高温处理一小时使苄基硫醇钯光栅转化为金属钯光栅，然后在压印装置三的作用下横向光栅脱离衬底二，并粘附到纵向光栅上形成叠堆结构，再进行一小时的高温处理使横向苄基硫醇钯光栅转化为金属钯光栅，得到超疏水微结构。本发明通过使用辊对辊压印，使用纳米压印与化学相结合的方法制备超疏水微结构，可轻易制备出复合结构，避免衬底多次取放，减少制备时间与对准误差，成本大大降低。
一种制备疏水微结构纳米压印装置方法

[发明专利]一种空间太阳望远镜前置滤光镜支撑装置-CN202111233021.4有效
发明人：辛宏伟;贺玉坤;陈长征;韩诚山;戴得恩 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： B64G1/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种空间太阳望远镜前置滤光镜支撑装置，包括上支座模块、下支座模块、以及中间支座；上支座模块内部形成有上滤光片支座，且上支座模块通过所述上滤光片支座嵌装有上滤光片；下支座模块内部形成有下滤光片支座，且下支座模块通过下滤光片支座嵌装有下滤光片；中间支座具有靠近上支座模块一侧的上表面，以及靠近下支座模块一侧的下表面；下表面为基准面，上表面相对于下表面倾斜布置，且上表面与下表面之间形成为2°夹角。本发明的支撑装置采用上支座模块、下支座模块和中间支座的三段式结构，并在中间支座上设计了互成2°夹角的上表面和下表面，使得镜座的加工难度大大降低，相应降低了加工成本，三段式结构也降低了装配难度。
一种空间太阳望远镜前置滤光支撑装置

[发明专利]一种空间相机紧凑型调焦机构-CN202111353436.5在审
发明人：辛宏伟;陈长征;戴得恩;贺玉坤;韩诚山 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G03B13/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种空间相机紧凑型调焦机构，包括基座、调焦组件、以及电机蜗杆组件；电机蜗杆组件通过直流电机驱动蜗杆转动，调焦组件具有与蜗杆传动的蜗轮；该调焦机构还包括调焦组件保护罩，调焦组件保护罩上集成有编码器；基座的下部通过焦面支架组件安装有焦面组件，调焦组件与焦面支架组件连接以带动调焦组件运动。本发明的调焦机构具有足够的刚度和稳定性，能够满足光学系统中焦面组件空间定位精度的要求；其通过驱动电机蜗杆组件进而驱动调焦组件调整补偿离焦值，且调焦精度达到国内前沿水平。相对于现有技术中的调焦结构，本发明的机构结构紧凑、体积小、重量轻，可用于轻量化空间相机的设计方案中。
一种空间相机紧凑型调焦机构

[发明专利]一种振动辅助的纳米辊压装置-CN201910617379.3在审
发明人：谷岩;林洁琼;康洺硕;张昭杰;陈斯;易正发;徐贞潘;李先耀;颜家瑄;徐宏宇;冯开拓;戴得恩;刘骜;卢发祥;段星鑫 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先，将机架水平放置于实验台上，然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方，再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心，调节微调装置使压印辊水平，然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触，启动加热装置对衬底进行加热，加热完毕后开始压印，压印同时Z向振动装置开始振动，然后冷却脱模，最后控制Z轴位移平台上升，压印结束。本发明中采用Z向振动装置，使模板与压印胶之间产生间隙接触，减少两者之间的粘附力，通过多次间隙接触进行摩擦产热，使得压印胶融化流动，提高压印胶的填充度，再通过微调装置调节压印辊水平，冷却装置进行降温，进一步提高微纳结构的精度与保真度。
一种振动辅助纳米装置

[发明专利]一种匀强电场辅助纳米压印成型装置及方法-CN201910617394.8在审
发明人：谷岩;林洁琼;陈斯;李先耀;康洺硕;冯开拓;张昭杰;徐宏宇;徐贞潘;颜家瑄;易正发;戴得恩;卢发祥;刘骜;段星鑫 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种匀强电场辅助纳米压印成型装置及方法通过调节压印装置的上、下两电极板之间的电压来控制极板之间产生的匀强电场力，并以匀强电场力作为压印力进行压印，脱模时向两电极板之间反复施加正反两方向的等大可调电压，形成正反向的匀强电场力并以此作为脱模力，使压印模具与衬底分离。本发明采用匀强电场力作为压印力，使得压印模具受到均匀的力可使模具上的微结构更好的转印至基板上，同时以反复的正反两方向的匀强电场力作为脱模力，保证在脱模过程中图案的完整性，并且在脱模过程中通过调节水平调节装置，调节得到适宜的脱模角度，提高压印图案精度及分辨率。
一种电场辅助纳米压印成型装置方法

[发明专利]一种基于非谐振辅助的纳米压印装置-CN201910617395.2在审
发明人：谷岩;林洁琼;陈斯;徐宏宇;康洺硕;冯开拓;颜家瑄;李先耀;张昭杰;徐贞潘;易正发;戴得恩;段星鑫;卢发祥;辛成磊 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，首先将衬底放在衬底卡盘中，调节Y轴位移平台及X‑Z轴位移平台使衬底移动到模板正下方，再控制X‑Z轴位移平台使压印装置向下运动，直至压印装置与衬底微接触，控制X‑Z轴位移平台进行压印，在压印同时使用Z向振动平台对衬底施加Z向振动，然后利用冷却装置对衬底进行冷却固化，最后用揭开式振动辅助的方法进行脱模，本发明采用Z向振动平台带动衬底进行压印，提高模板空腔的填充率与微纳图案的分辨率；采用吸气泵及多个独立封闭通道在脱模时实现揭开式脱模，在模板在与衬底逐渐分离的同时进行振动辅助，减小模板与压印胶间的粘附力，从而减少脱模时对模板造成的损伤与毁坏，延长模板的使用寿命。
一种基于谐振辅助纳米压印装置

[实用新型]一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置-CN201921067339.8有效
发明人：谷岩;陈斯;康洺硕;徐贞潘;颜家瑄;戴得恩;徐宏宇;李先耀;张昭杰;冯开拓;易正发;刘骜;卢发祥;段星鑫;辛成磊 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置，首先利用涂胶装置一、涂胶装置二将压印胶苄基硫醇钯均匀涂抹到衬底一、衬底二表面，然后压印装置一、压印装置二分别对衬底一、衬底二进行压印得到带有纵向光栅结构的衬底一、带有横向光栅结构的衬底二，对衬底一进行高温处理一小时使苄基硫醇钯光栅转化为金属钯光栅，然后在压印装置三的作用下横向光栅脱离衬底二，并粘附到纵向光栅上形成叠堆结构，再进行一小时的高温处理使横向苄基硫醇钯光栅转化为金属钯光栅，得到超疏水微结构。本实用新型通过使用辊对辊压印，使用纳米压印与化学相结合的方法制备超疏水微结构，可轻易制备出复合结构，避免衬底多次取放，减少制备时间与对准误差，成本大大降低。
衬底光栅制备压印装置超疏水微结构苄基硫高温处理横向光栅涂胶装置纵向光栅金属钯压印纳米压印装置本实用新型对准误差复合结构均匀涂抹纳米压印辊对辊压印胶叠堆取放粘附转化脱离

[实用新型]一种基于非谐振辅助的纳米压印装置-CN201921067351.9有效
发明人：谷岩;康洺硕;徐宏宇;陈斯;冯开拓;颜家瑄;李先耀;张昭杰;徐贞潘;易正发;戴得恩;段星鑫;卢发祥;刘骜;辛成磊 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，首先将衬底放在衬底卡盘中，调节Y轴位移平台及X‑Z轴位移平台使衬底移动到模板正下方，再控制X‑Z轴位移平台使压印装置向下运动，直至压印装置与衬底微接触，控制X‑Z轴位移平台进行压印，在压印同时使用Z向振动平台对衬底施加Z向振动，然后利用冷却装置对衬底进行冷却固化，最后用揭开式振动辅助的方法进行脱模，本实用新型采用Z向振动平台带动衬底进行压印，提高模板空腔的填充率与微纳图案的分辨率；采用吸气泵及多个独立封闭通道在脱模时实现揭开式脱模，在模板在与衬底逐渐分离的同时进行振动辅助，减小模板与压印胶间的粘附力，从而减少脱模时对模板造成的损伤与毁坏，延长模板的使用寿命。
衬底脱模压印本实用新型压印装置振动平台辅助的揭开式纳米压印装置衬底卡盘独立封闭冷却固化冷却装置模板空腔使用寿命向下运动非谐振填充率微接触吸气泵压印胶分辨率减小粘附毁坏损伤施加图案移动

[实用新型]一种匀强电场辅助纳米压印成型装置-CN201921067353.8有效
发明人：谷岩;陈斯;康洺硕;李先耀;冯开拓;张昭杰;徐宏宇;徐贞潘;颜家瑄;易正发;戴得恩;卢发祥;刘骜;段星鑫;辛成磊 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀强电场辅助纳米压印成型装置，首先调节X向工作平台和Z向工作平台，使压印模具置于衬底的正上方，通过调节压印装置的上、下两电极板之间的电压来控制极板之间产生的匀强电场力，并以匀强电场力作为压印力进行压印，脱模时向两电极板之间反复施加正反两方向的等大可调电压，形成正反向的匀强电场力并以此作为脱模力，使压印模具与衬底分离。本实用新型采用匀强电场力作为压印力，使得压印模具受到均匀的力可使模具上的微结构更好的转印至基板上，同时以反复的正反两方向的匀强电场力作为脱模力，保证在脱模过程中图案的完整性，并且在脱模过程中通过调节水平调节装置，调节得到适宜的脱模角度，提高压印图案精度及分辨率。
匀强电场脱模压印模具本实用新型工作平台电极板压印力水平调节装置衬底分离成型装置可调电压纳米压印压印图案压印装置分辨率微结构正反向衬底等大基板极板压印转印模具施加图案保证

[实用新型]一种振动辅助的纳米辊压装置-CN201921067341.5有效
发明人：谷岩;康洺硕;陈斯;张昭杰;易正发;徐贞潘;李先耀;颜家瑄;徐宏宇;冯开拓;戴得恩;刘骜;卢发祥;段星鑫;辛成磊 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先，将机架水平放置于实验台上，然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方，再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心，调节微调装置使压印辊水平，然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触，启动加热装置对衬底进行加热，加热完毕后开始压印，压印同时Z向振动装置开始振动，然后冷却脱模，最后控制Z轴位移平台上升，压印结束。本实用新型中采用Z向振动装置，使模板与压印胶之间产生间隙接触，减少两者之间的粘附力，通过多次间隙接触进行摩擦产热，使得压印胶融化流动，提高压印胶的填充度，再通过微调装置调节压印辊水平，冷却装置进行降温，进一步提高微纳结构的精度与保真度。
压印辊压印胶振动装置压印本实用新型间隙接触衬底加热调节微调装置启动加热装置衬底卡盘辊压装置机架水平冷却脱模冷却装置微调装置微纳结构保真度辅助的填充度微接触产热涂胶下移粘附融化摩擦流动

[发明专利]一种二维振动辅助的辊对平面热压印装置及方法-CN201810318408.1在审
发明人：谷岩;林洁琼;卢明明;易正发;陈斯;李景鹏;张群;郑恭承;戴得恩;冯开拓;卢昊;杨振;王俊强;张哲名;苍新宇;徐梓苏;付斌 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： B29C59/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维振动辅助的辊对平面热压印装置及方法，调节X‑Y工作平台，使衬底位于压印辊正下方，启动加热装置对衬底进行预热，再由Z轴位移平台调控升降平台使压印装置向下运动，直至压印辊与衬底微接触，并进行压印，在压印的同时使用二维振动平台对衬底进行二维振动，压印完成后进行冷却固化并使用二维振动辅助脱模，最后控制升降装置上升，压印结束。本发明采用二维振动平台带动衬底实现压印时X‑Y方向振动，使压印过程模具与固态胶层之间产生剪切变形，使固态胶非弹性变形或流动，图案根部有残留应力，使高深宽比图案不坍塌，并通过振动振散分子结构以减少粘附力，从而减少模板与聚合物脱离时造成的损伤与毁坏，增大微纳图案的效率与保真度。
二维振动衬底压印平面热压辅助的固态胶压印辊图案控制升降装置启动加热装置非弹性变形分子结构高深宽比工作平台剪切变形冷却固化升降平台向下运动压印过程压印装置聚合物保真度微接触预热脱模粘附模具坍塌损伤残留毁坏调控脱离流动

[发明专利]一种二维辅助振动的压印装置及方法-CN201810318345.X在审
发明人：谷岩;杨士通;刘亚梅;戴得恩;陈斯;李景鹏;张群;郑恭承;易正发;冯开拓;卢昊;杨振;王俊强;张哲名;苍新宇;徐梓苏;付斌 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种二维辅助振动的压印装置及方法，其包括工作台、XY轴位移台、Z轴位移台、二维微动平台、压印装置、加热板。涂胶后的衬底置于二维微动平台上，XY轴位移台将二维微动平台移动到模板下方，加热板对光刻胶进行预热，光刻胶未达到玻璃化温度，预热完成后，启动二维微动平台并带动衬底实现二维振动，Z轴位移台控制压印装置对衬底进行压印，压印完成后在空气中冷却固化，最后进行振动辅助脱模，本发明采用二维微动平台带动衬底实现压印时X轴、Y轴振动，使压印过程产生剪切变形进而使光刻胶非弹性变形或流动，提高模板空腔的填充率，增强压印图案的保真度，提高压印效率，降低脱模时的粘附力，对大尺寸特征以及高纵宽比的微结构压印成型十分有利。
二维微动平台压印装置衬底压印光刻胶加热板位移台预热二维脱模非弹性变形尺寸特征二维振动剪切变形冷却固化模板空腔压印成型压印过程压印图案保真度玻璃化台控制填充率微结构工作台涂胶粘附移动流动

[发明专利]一种可精确控制的滚压装置及方法-CN201810176362.4在审
发明人：谷岩;林洁琼;于保军;冯开拓;李景鹏;张群;郑恭承;易正发;戴得恩;康洺硕;曹东旭;张哲名;徐梓苏;苍新宇;付斌;王亚坤 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2018-03-03 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种可精确控制的滚压装置及方法，其包括底座、支撑板、放卷辊、衬底、张紧辊、涂胶装置、支撑辊、压印装置、支座、固化装置、收卷辊、伺服电机，其中，支撑板垂直于底座并固连在其上，涂胶装置、放卷辊、收卷辊与支撑辊固定在支撑板之间，收卷辊与伺服电机相连，衬底包覆于放卷辊与收卷辊上，并由支撑辊支撑，压印装置固连在支座上，其下方设有固化装置，固化装置固连在底座上。本发明通过调节装置上的音圈电机调节从而调整了压印辊在X、Y、Z轴三个方向上的位移，减小了卷对卷压印过程中压印辊和背辊之间的形位误差；通过柔性铰链自适应调节，增强了模板与衬底形成良好的共形接触的效果；装置结构简单，可实现快速、大面积生产。
收卷辊固化装置放卷辊支撑板支撑辊衬底固连底座滚压装置伺服电机涂胶装置压印装置卷对卷压印自适应调节调节装置共形接触柔性铰链形位误差音圈电机装置结构压印辊张紧辊包覆背辊减小印辊中压垂直支撑生产

[发明专利]一种制备分级微结构的纳米压印的装置及方法-CN201810020864.8在审
发明人：谷岩;林洁琼;于保军;李景鹏;张群;郑恭承;王点正;易正发;戴得恩;冯开拓;田旭;曹东旭;郭海龙;贾申;刘阳;孙彦东 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备分级微结构的纳米压印的装置及方法，包括放卷辊、衬底、张紧辊、处理腔、支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三、调节装置一、可调换式涂胶装置、红外线加热装置、调节装置二、换辊装置、背辊、刻蚀腔、导向辊和收卷辊，其中，放卷辊与收卷辊对衬底进行放卷和收卷，所有支撑辊及背辊进行支撑，调节装置一和调节装置二分别对可调换式涂胶装置及换辊装置进行调节，处理腔和刻蚀腔分别对衬底进行处理与刻蚀，红外线加热装置对光刻胶加热，导向辊对衬底进行导向，换辊装置进行压印辊的调换，共同协作完成压印流程。本发明解决了制备分级微结构需要多次模板对齐所需时间较长和对齐时易产生误差的问题，可以准确而又快速高效的制备分级微结构。
调节装置微结构支撑辊衬底分级制备换辊装置红外线加热装置可调换式纳米压印涂胶装置对齐处理腔导向辊放卷辊刻蚀腔收卷辊背辊压印辊张紧辊放卷刻蚀收卷压印加热调换协作支撑

[发明专利]一种可制备复杂微结构的纳米压印装置-CN201810020867.1在审
发明人：谷岩;卢明明;林洁琼;郑恭承;张群;李景鹏;戴得恩;易正发;冯开拓;王点正;张哲名;苍新宇;徐梓苏;付斌;张晋 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种可制备复杂微结构的纳米压印装置，首先放卷辊放出衬底，涂胶辊将光刻胶涂在衬底上，将衬底传送到压印装置下方，加热辊将光刻胶加热到玻璃化温度，压印辊一进行压印，然后固化，之后通过刻蚀装置清除残余层，衬底再次回到压印装置下方，再进行加热，旋转盘将压印辊二转至第一次压印后的光刻胶上方，压印辊二进行压印，压印辊二压印完成后,重复以上步骤至压印辊三压印完成后，再将得到的复杂微结构的衬底通过收卷辊收集起来。本发明通过多辊压印制备复杂微结构，能够在较低成本下快速有效的制备复杂微纳结构，方法简单，装置及加工实现成本相对较低，且制备图案精度较高，减少了误差，避免了对衬底上图案和模板损伤及更换模板成本问题。
衬底压印压印辊制备微结构光刻胶纳米压印装置压印装置加热图案刻蚀装置模板成本微纳结构玻璃化残余层低成本放卷辊加热辊收卷辊涂胶辊旋转盘多辊固化损伤重复加工

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