[发明专利]一种钽酸钠单晶薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910234848.3 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109898137A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 韩高荣;李玮;任召辉;王飞 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C30B29/30 | 分类号： | C30B29/30;C30B7/10 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种钽酸钠(NTO)单晶薄膜的制备方法。本发明采用水热法在钛酸锶(STO)单晶基板上首次制得了NTO单晶薄膜。该方法以五氧化二钽作为主要原料，氢氧化钠作为矿化剂，商用的二维STO单晶衬底作为基板。首先，将五氧化二钽、氢氧化钠混合溶液在室温下强力搅拌，然后放入STO单晶基板，将其在高温下进行水热处理，得到NTO单晶薄膜。本发明工艺过程简单，易于控制，无污染，成本低，易于规模化生产，对推动钙钛矿氧化物异质结在传感器、存储器、自旋电子学等方面的研究与应用具有十分重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶薄膜 五氧化二钽 单晶基板 氢氧化钠 钽酸 制备 钙钛矿氧化物 规模化生产 自旋电子学 存储器 工艺过程 混合溶液 强力搅拌 水热处理 矿化剂 水热法 异质结 钛酸锶 传感器 衬底 单晶 二维 放入 基板 商用 应用 研究 | ||
【主权项】：
1.一种钽酸钠单晶薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将氢氧化钠溶解于去离子水中，充分搅拌，得到摩尔浓度为6‑10mol/L的氢氧化钠水溶液；2)在搅拌状态下，向步骤1)制得的氢氧化钠水溶液中加入0.5‑5mmol五氧化二钽，用去离子水调节反应釜内胆中的反应物料体积达到反应釜内胆容积的80％，搅拌2h，得到反应前驱体的悬浊液，并将悬浊液置于聚四氟乙烯内胆中；3)对单晶钛酸锶基板进行超声清洗，并进行干燥；4)将清洗干净的单晶钛酸锶基板竖直放置于架子上，并将架子置于盛有反应物料的内胆中，密封，在200℃下保存12h进行水热处理，然后让反应釜自然冷却到室温，卸釜后，用去离子水和无水乙醇反复超声清洗反应完成后的基板，烘干，制得钽酸钠单晶薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910234848.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
