[发明专利]一种集成偏振非制冷红外探测器及制作方法在审
| 申请号： | 201910101141.5 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109813449A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 梁中翥;孟德佳;陶金;梁静秋;秦余欣;吕金光;侯恩柱;史晓燕;秦正 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种集成偏振非制冷红外探测器及制作方法涉及红外偏振探测与成像技术领域，解决了由于偏振片与成像单元间的对准偏差所产生的成像误差的问题。探测器的焦平面由2*2像元构成的超像元阵列组成，每个像元的狭缝方向从0度开始，以45度为变化量逐一增加或者递减，该焦平面的像元由下至上依次包括：读出电路为具备放大和降低噪声功能的硅基或者锗基CMOS集成电路，在CMOS集成电路设置读出电极对；绝热微桥包括微桥面、两个微支撑结构和两个微悬臂梁；热敏电阻层为温度电阻系数的绝对值高于2％的材料；读出电极通过通孔与热敏电阻层连接；钝化绝缘层保护热敏电阻层；宽带吸收膜层包括金属层、介质层和金属微阵列，本发明工艺简单，有利于大规模低成本制备。 | ||
| 搜索关键词： | 热敏电阻层 像元 非制冷红外探测器 读出电极 焦平面 偏振 成像技术领域 温度电阻系数 钝化绝缘层 绝热 成像单元 成像误差 读出电路 对准偏差 降低噪声 宽带吸收 偏振探测 微悬臂梁 像元阵列 支撑结构 变化量 低成本 介质层 金属层 偏振片 微阵列 探测器 硅基 膜层 桥面 通孔 微桥 狭缝 锗基 制备 制作 递减 放大 金属 | ||
【主权项】：
1.一种集成偏振非制冷红外探测器，其特征在于，探测器的焦平面由2*2像元构成的超像元阵列组成，每个像元的狭缝方向从0度开始，以45度为变化量逐一增加或者递减，每个像元由下至上依次包括：读出电路，所述读出电路为具备放大和降低噪声功能的硅基或者锗基CMOS集成电路，在所述CMOS集成电路制作与像元阵列位置对应的电极对；绝热微桥，所述绝热微桥包括微桥面、两个微支撑结构和两个微悬臂梁；所述微悬臂梁一端连接微桥面，另一端连接微支撑结构，所述微支撑结构内部设有接触孔，每个接触孔设置在一个电极上，所述绝热微桥表面和内部设有金属电极；热敏电阻层，所述热敏电阻层为温度电阻系数的绝对值高于2％的材料；所述电极对通过位于所述接触孔、微悬臂梁和微桥面的金属电极与热敏电阻层连接；钝化绝缘层，所述钝化绝缘层保护热敏电阻层，并且将热敏电阻与吸收膜层绝缘；复合偏振选择吸收膜层，所述复合偏振选择吸收膜层包括金属层、介质层和偏振选择金属微阵列，其中介质层为红外波段低损耗材料；所述复合偏振选择吸收膜通过所述钝化绝缘层与所述热敏电阻层绝缘，所述偏振选择金属微阵列为亚波长偏振选择周期排列结构，所述金属微阵列上每个金属单元为金属周期狭缝结构组合或金属周期短线结构组合而成形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910101141.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 自恒温红外温度传感器及应用其的产品-201910825328.X
- 余少非 - 上海商皓电子科技有限公司
- 2019-09-02 - 2019-11-01 - G01J5/20
- 本发明公开了一种自恒温红外温度传感器及应用其的产品，其涉及红外温度传感器领域。旨在解决现有红外温度传感器采取温度补偿法会造成系统误差较高的问题。其技术方案要点包括底座，所述底座上设置有MEMS和NTC，所述底座上还设置有TEC，所述TEC与底座连接，且所述MEMS和NTC设置于所述TEC表面。本发明能够调节自身的环境温度，使补偿值不会随着外界环境温度而变化，从而使测温更为精准。
- 超构材料非制冷红外焦平面多色偏振探测器及其制备方法-201910523442.7
- 易飞;蒋顺;李君宇 - 华中科技大学
- 2019-06-17 - 2019-10-15 - G01J5/20
- 本发明公开了一种超构材料非制冷红外焦平面多色偏振探测器及其制备方法，探测器包括阵列排列的多个探测器像素单元，像素单元包括基底结构、微桥结构和超构材料吸收体结构；基底结构包括硅衬底和第一金属电极层；微桥结构包括支撑层、热敏层、第二金属电极层和钝化层；超构材料吸收体结构包括金属底层、介质层和金属阵列层，金属阵列层包括若干个依次排列的金属阵列；其中相邻两行两列的四个所述像素单元为一个像元，每个像元中的多个像素单元的结构相同，相互之间通过旋转得到。本发明利用超构材料吸收体中表面等离激元共振现象引起的共振波长处光的强烈吸收以及其结构固有的偏振选择特性，实现了不同波段的偏振探测。
- 电读出非制冷红外探测器的测试电路与方法-201810324887.8
- 刘超;候影;刘瑞文;傅剑宇;王玮冰;陈大鹏 - 昆山光微电子有限公司;中国科学院微电子研究所
- 2018-04-12 - 2019-10-01 - G01J5/20
- 本发明公开了一种电读出非制冷红外探测器的测试电路与方法，测试电路包括：待测样品、固定电阻、可变电阻、电压源、电压放大模块、电压表和电压示波器。其中以待测样品作为测量臂、两个固定电阻作为比例臂、可变电阻作为比较臂，构成惠斯通电桥；电桥由电压源供电，电压表并联在与测量臂串联的比例臂上，输出端电压经电压放大模块放大后由电压示波器显示。本发明的测试电路与方法可以测量获得电读出非制冷红外探测器的响应时间、热导和热容，具有电路简单、操作简便，功能多样、测量精度高的特点。
- 一种等离激元声表面波谐振红外传感器-201910433612.2
- 孙成亮;蔡耀;张一;邹杨;谢英;刘炎;朱伟 - 武汉大学
- 2019-05-23 - 2019-09-13 - G01J5/20
- 本发明公开了一种等离激元声表面波谐振红外传感器，包括声表面波谐振器和纳米金属阵列；声表面波谐振器包括输入端叉指电极、输出端叉指电极、压电薄膜和基底；纳米金属阵列位于声表面波谐振器敏感区域，生长在压电薄膜上。所述等离激元声表面波谐振器红外传感器通过纳米金属阵列的等离激元效应增强对红外辐射的吸收，微量的红外辐射可以产生较大的能量聚集，使声表面波谐振器敏感区域温度升高，压电薄膜材料参数发生变化，造成沿压电薄膜表面传播的声波振动发生变化，叉指电极输出的电信号频率发生漂移，通过测试电信号变化来反映红外辐射信号。本发明尺寸较小、制备简单、灵敏度高，能够有效实现红外辐射探测。
- 一种钽酸锂窄带探测器及其制备方法-201710579047.1
- 易飞;谈小超;李君宇;甘如雷;陈宇瑶;郭颂;杨奥;蒋顺 - 华中科技大学
- 2017-07-17 - 2019-09-13 - G01J5/20
- 本发明公开了一种钽酸锂窄带探测器及其制备方法，属于热释电红外探测器领域。探测器包括探测器本体和电磁超表面结构，电磁超表面结构设置在探测器本体上，其中，探测器本体包括从下至上设置的硅底座支撑、下电极、钽酸锂晶片、上电极，电磁超表面结构包括自下而上设置金背板、介质层以及天线，其中，金背板与上电极为同一物体，两者共用。本发明还提供了钽酸锂窄带探测器的制备方法，本发明采用超表面技术对传统的热释电探测器没有波长选择性的缺陷进行改进，在一定波长范围内能够实现对特定波长的检测，并且简化了红外探测器的制备流程。
- 一种新型热释电红外探测器-201821592672.6
- 单森林 - 森霸传感科技股份有限公司
- 2018-09-28 - 2019-09-13 - G01J5/20
- 一种新型热释电红外探测器，包括管帽，红外光学滤光片，红外敏感元件，支撑板，信号处理元件，基板和管座。其中包含两组红外敏感元件，分别固定在支撑板的上下两个表面，悬空位于凹槽上，形成良好的纵向绝热效果，同时保障一定的横向位置导热作用以及机械稳定性，且其双敏感元组成并联电路，在传感器内部解决对于外界振动,温度干扰等问题，增加传感器稳定性。除此之外，改变了现有的双元探测器由于敏感元面积小而造成的灵敏度低的现象，以及改变现有敏感元件两侧引线部分支撑板槽孔间距较小，而出现的探测器短路和粘接不良等问题，简化了生产工艺，提高了生产效率。
- 基于掺杂钛酸锶基氧化物的微区热扰动双向锁定探测方法-201811095654.1
- 陈吉堃;张秀兰;姜勇 - 北京科技大学
- 2018-09-19 - 2019-09-10 - G01J5/20
- 本发明提供一种基于掺杂钛酸锶基氧化物的微区热扰动双向锁定探测方法。该发明结合掺杂钛酸锶材料的高电阻温度系数(TCR)与高热电赛贝克系数两个特点，在对微区热扰动的探测中，同时测量以下两个物理量：1)由热扰动引起的掺杂钛酸锶热敏电阻阻值的改变；2)由热扰动引起微小温差下引起的赛贝克电压。通过利用该两个物理量改变量的综合表征与判断结合数学上的交叉验证从而实现对热扰动信号的精准锁定与探测。该方法可实现对微小热扰动信号的精准探测，在红外探测、微测辐射热、温度探测与传感方面具有可观的应用价值与宽广的应用前景。
- 一种刻蚀增强型的非制冷红外薄膜探测器及制备方法-201910411805.8
- 黄志明;胡涛;张惜月;张志博;吴敬;江林 - 中国科学院上海技术物理研究所
- 2019-05-17 - 2019-08-23 - G01J5/20
- 本发明公开了一种刻蚀增强型的非制冷红外薄膜探测器及制备方法，所述探测器由氧化铝衬底，锰钴镍氧敏感元，锰钴镍氧介质超表面结构层，补偿元，以及器件管座组成。本发明制备的刻蚀增强型非制冷红外薄膜探测器，在传统锰钴镍氧薄膜型探测器的基础上，通过设计和刻蚀敏感元部分，形成特定周期、占空比和深度的锰钴镍氧介质超表面结构层，达到了增强耦合光的能力，促进了锰钴镍氧薄膜材料在红外波段的宽带吸收，进而增强了器件对红外辐射的宽波段探测能力，在响应率和探测率等方面可以有进一步的提高。本发明设计的器件制备工艺简单，与现有的硅集成工艺相兼容，可以在焦平面探测器中大规模应用。
- 一种制冷型红外探测器的控制系统及其制冷判定方法-201710304463.0
- 张智杰;洪普;陈华旺;郭晓东;王鹏 - 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
- 2017-05-03 - 2019-08-23 - G01J5/20
- 本发明公开了一种制冷型红外探测器的控制系统及其制冷判定方法，该系统包括制冷型红外探测器、射级跟随器、AD采样模块以及微控制器。该方法采用连续定时测量焦平面红外探测器的温度反馈的方法，由微控制器的修正单元根据红外探测器的实际使用情况对焦平面工作温度相对输出电压的函数关系进行修正，再通过微控制器的综合判断单元对温度相对时间的变化斜率、稳定制冷工作温度、达到稳定制冷工作温度的时间进行综合判断，实时监控焦平面红外探测器的温度，减少误判导致焦平面红外探测器提前上电或制冷机已制冷好但焦平面红外探测器却无法上电而引起开机校正失败的情况。
- 一种应用于多光谱测温仪的红外探测放大器-201910439420.2
- 金振涛;张学聪;温悦;任佳;董磊;蔡静 - 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
- 2019-05-24 - 2019-08-16 - G01J5/20
- 本发明公开的一种应用于多光谱测温仪的红外探测放大器，属于信号放大和处理领域。本发明主要由多个铟镓砷光电探测器、具有多路输入输出的微弱电流信号放大电路构成；每个铟镓砷探测器的输出与微弱电流信号放大电路的其中一路输入直接相连；PCB板上输入电流信号走线和芯片的输入管脚进行保护环设计，防止漏电流的干扰；微弱电流信号放大电路具有4种不同的放大量程，其中10000000的量程由T网络实现负反馈大电阻值放大，其他量程的放大则由并联的电阻和电容负反馈网络直接实现，不同量程间通过开尔文开关的方法进行连接，电路根据输入的信号大小自动选择适配的量程，放大后的信号经过低通滤波电路进行滤波，滤波后的信号再经过差分放大器后输出。
- 一种谐振型宽光谱非制冷红外探测器及其制备方法-201910462301.9
- 梁中翥;罗奕;孟德佳;张宇昊;史晓燕;梁静秋;秦余欣;陶金;吕金光;秦正;侯恩柱 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2019-05-30 - 2019-08-13 - G01J5/20
- 一种谐振型宽光谱非制冷红外探测器及其制备方法涉及红外探测与成像技术领域，解决了对红外辐射吸收率低、光谱响应带宽窄和制备困难的问题，探测器包括由下至上依次设置的集成读出电路衬底层、热绝缘微桥、热敏电阻传感层、钝化绝缘层、金属反射层和由吸收单元组成的阵列层；热敏电阻传感层通过热绝缘微桥电连接集成读出电路衬底层；金属反射层的厚度值大于红外辐射在其内的趋肤深度值；吸收单元包括N个谐振机构，N为≥2的整数，谐振机构包括谐振单元，谐振单元由金属层和介质层组成，金属层位于介质层的上表面上，谐振机构之间金属层的尺寸互不相同。本发明通过金属反射层和阵列层实现对红外辐射吸收率高，具有宽的光谱响应带宽。
- 红外探测器-201410044815.X
- 南圣炫;朴海锡 - 三星电子株式会社
- 2014-02-07 - 2019-08-09 - G01J5/20
- 本发明提供了红外探测器。红外探测器可以包括：基板；谐振单元，与基板间隔开，谐振单元配置为通过在入射红外光的多个波长处引起谐振而产生热；热敏电阻层，配置为支撑谐振单元并与谐振单元间隔开，热敏电阻层具有根据谐振单元中产生的热而改变的电阻值；以及连接单元，配置为支撑热敏电阻层使得热敏电阻层与基板间隔开并将热敏电阻层电连接到基板。
- 一种测试用海上钻井平台温度监测装置及方法-201710504895.6
- 杨立龙;周宝锁;谭振兴;孟文波;侯佳;侯金龙;孙明 - 中海艾普油气测试（天津）有限公司
- 2017-06-28 - 2019-08-09 - G01J5/20
- 本发明公开了一种测试用海上钻井平台温度监测装置，包括：风力风向监测装置，其包括：支撑架，其可拆卸设置在待监测区域；多个集风筒，其通过球形测风装置设置在所述支撑架顶部；速度传感器，其设置在所述集风筒上，用于检测集风筒转速；温度监测装置，其连接所述风力监测装置，包括：光学系统和探测器，当待检测区域辐射的红外能量通过大气媒介传输到温度监测装置时，光学系统将目标辐射的能量汇聚到探测器；并包括用于测量环境温湿度的温湿度传感器；精准记录待测物体的温度和风向，灵敏度高。本发明还提供一种测试用海上钻井平台温度检测方法，是通过对环境温湿度的检测，校正测温装置的误差，实时、精准测量被测物体的温度。
- 热释电红外探测器-201920109901.2
- 杨军伟;王德信 - 青岛歌尔智能传感器有限公司
- 2019-01-22 - 2019-07-26 - G01J5/20
- 本实用新型公开一种热释电红外探测器，所述热释电红外探测器包括碳化硅衬底、石墨烯层和两个电极，石墨烯层设于所述碳化硅衬底的一侧；两所述电极间隔设置于所述石墨烯层背离所述碳化硅衬底的一侧，且两电极分别位于所述石墨烯层的两端。本实用新型技术方案可提高热释电红外探测器的探测的准确性。
- 一种光学读出红外传感器及其制备方法-201910418512.2
- 赵旸;张鹏;郭建;侯虎旺;陈烈 - 中国科学技术大学
- 2019-05-20 - 2019-07-23 - G01J5/20
- 本发明属于传感器领域，尤其涉及一种光学读出红外传感器及其制备方法。本发明提供的光学读出红外传感器包括：硅基底；固定在硅基底上的微悬臂梁单元阵列；微悬臂梁单元阵列由若干个微悬臂梁单元组成，每个所述微悬臂梁单元均包括支撑腿、隔热梁、双材料变形梁和吸热反光板；所述双材料变形梁和吸热反光板均由复合到一起的碳纳米管膜层和金膜层组成。本发明利用碳纳米管在室温下的轴向热膨胀系数约为‑11×10‑6K‑1，以及碳纳米管对8～14μm波段的红外光有接近黑体的吸收率等特性，与金结合应用于双材料悬臂梁结构时，可以提高辐射热转换效率和热制变形量，从而提高探测灵敏度。而且碳纳米管的密度和比热较小，可以缩短响应时间。
- 红外探测器阵列级封装结构及其制造方法-201610855933.8
- 庄玉召;钱良山;张云胜;姜利军 - 杭州大立微电子有限公司
- 2016-09-28 - 2019-07-19 - G01J5/20
- 一种红外探测器阵列级封装结构及其制造方法，所述红外探测器阵列级封装结构包括：基底，所述基底包括衬底以及位于部分衬底表面的读出电路；薄膜层，所述薄膜层部分位于所述读出电路外侧的衬底表面，与所述衬底之间形成真空腔；吸气剂层，所述吸气剂层位于所述真空腔内部的基底表面；红外传感器单元，所述红外传感器单元位于所述真空腔内的读出电路上方与所述读出电路连接。上述红外探测器阵列级封装结构的结构紧凑，能有效地降低器件的成本。
- 红外线传感器及其辐射热测量计红外线受光部的冷却方法-201811486361.6
- 川崎隆志;高桥宏平;反保尚基;内藤康幸 - 松下知识产权经营株式会社
- 2018-12-06 - 2019-07-12 - G01J5/20
- 本公开涉及红外线传感器及其辐射热测量计红外线受光部的冷却方法。红外线传感器具备有凹部的基底基板、辐射热测量计红外线受光部及珀耳帖元件。上述红外线受光部具备电阻变化层、辐射热测量计第1梁及辐射热测量计第2梁。珀耳帖元件具备由p型半导体材料形成的珀耳帖第1梁及由n型半导体材料形成的珀耳帖第2梁，珀耳帖元件与上述红外线受光部背侧的面接触。辐射热测量计第1梁和第2梁及珀耳帖第1梁和第2梁各自的一端与基底基板连接，上述红外线受光部及珀耳帖元件悬架在基底基板上部，辐射热测量计第1梁和第2梁及珀耳帖第1梁和第2梁各自具备包含规则地排列的多个贯通孔的声子晶体结构。由此能够兼具优异的检测灵敏度及优异的响应速度。
- 一种非接触式温度测量系统-201910345401.3
- 徐万好 - 北京万羿科技有限公司
- 2019-04-26 - 2019-07-12 - G01J5/20
- 本发明实施例公开了一种非接触式温度测量系统，包括非接触式温度传感器、玻璃类透明介质和被测物体；其中，所述非接触式温度传感器与所述玻璃类透明介质相隔预设的第一距离，所述玻璃类透明介质与所述被测物体相隔预设的第二距离，所述玻璃类透明介质的厚度为预设第三距离。本发明通过透明介质对物体进行温度测量，无需与被测物体进行接触便可测得温度，更易于清洁。
- 一种双元热释电红外探测器敏感元支撑板-201821594011.7
- 单森林 - 森霸传感科技股份有限公司
- 2018-09-28 - 2019-07-09 - G01J5/20
- 一种双元热释电红外探测器敏感元支撑板，利用两组红外敏感元分别固定在敏感元支撑架的两个矩形槽口内，红外敏感元电极部分悬空位于方形凹槽上，对于红外敏感元形成良好的纵向绝热效果，同时保障一定的横向位置导热。两组敏感元背部电极通过导电胶经条形空隙与支撑板背部槽线联通，向支撑板中腰部分引导体飞线，导体飞线的另一端与探测器的电路相导通，采用此种双元热释电红外探测器，可以在传感器内部解决对于外界信号的干扰问题，如：温度突变、振动等，增加传感器稳定性，避免了由于槽孔间距过小而带来的操作困难及误报等问题。
- 基于红外热成像技术的半导体制冷片检测方法-201710501451.7
- 朱向男 - 秦皇岛富连京电子股份有限公司
- 2017-06-27 - 2019-06-28 - G01J5/20
- 本发明公开了一种基于红外热成像技术的半导体制冷片检测方法，包括：将半导体制冷片连接到电源上并置于红外热成像仪镜头的监视范围内；对半导体制冷片施加电压；计算机记录半导体制冷片的热成像图像；根据记录的热成像图像和预设的判断规则，判断半导体制冷片是否存在缺陷。本发明提供的方法，能够快速、全面、高效的对半导体制冷片进行检测。
- 一种非制冷红外焦平面阵列探测器-201821840651.1
- 王大甲;许勇;周龙飞;王春雷 - 无锡元创华芯微机电有限公司
- 2018-11-09 - 2019-06-25 - G01J5/20
- 本实用新型提供了一种非制冷红外焦平面阵列探测器，涉及红外探测器技术领域。其包括：硅衬底、桥面层、四锚柱支撑的桥臂层；桥面层设置有热敏感层和红外热辐射吸收层，桥臂层设置有钝化层和金属导电层，硅衬底设置有读出电路和金属反射层；桥面层与桥臂层相互平行设置并通过支撑柱连接，桥臂层悬空设置在硅衬底上且通过四个锚柱与硅衬底连接；桥面层和桥臂层之间具有第一真空间隙层；桥臂层和硅衬底之间具有第二真空间隙层。本实用新型提供的一种非制冷红外焦平面阵列探测器，可以增加探测器桥臂热绝缘性能，提高红外吸收层的有效面积，通过四锚柱支撑保证多层结构的平整性，稳定性，从而实现更低、均匀的探测能力。
- 一种非制冷双色偏振红外探测器及其制造方法-201710328750.5
- 邱栋;甘先锋;王鹏;王宏臣;陈文礼 - 烟台睿创微纳技术股份有限公司
- 2017-05-11 - 2019-06-21 - G01J5/20
- 本发明涉及一种非制冷双色偏振红外探测器，在非制冷双色红外探测器上制备两个偏振结构，所述非制冷双色红外探测器分为呈矩阵排列的四个区域：第一、三区域和第二、四区域，第一、三区域和第二、四区域形成高度不同的谐振腔。本发明还涉及制备上述探测器的方法，包括在第一、三区域和第二、四区域分别制作不同高度的谐振腔的步骤、分别溅射不同方阻值热敏层薄膜的步骤及在所述非制冷双色红外探测器的第一、三区域和第二、四区域分别制备偏振结构的步骤，能够在超低温(‑80℃～‑60℃)环境下工作和超高温(85℃～100℃)环境下工作，且具备偏振特性。
- 一种复合吸收膜层非制冷红外焦平面及制作方法-201910099928.2
- 梁中翥;孟德佳;陶金;吕金光;秦余欣;梁静秋;张宇昊;罗奕;史晓燕 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2019-01-31 - 2019-05-28 - G01J5/20
- 一种复合吸收膜层非制冷红外焦平面及制作方法涉及红外探测与成像技术领域，解决现有非制冷焦平面为实现高吸收率而增大吸收层厚度、等效热容增大引起的性能降低等问题。该焦平面包括多个像元组成的阵列，每个像元由下至上依次包括：读出电路为具备放大和降低噪声功能的硅基或者锗基CMOS集成电路，在CMOS集成电路设置读出电极对；绝热微桥包括微桥面、两个微支撑结构和两个微悬臂梁；热敏电阻层为温度电阻系数的绝对值高于2％的材料；读出电极通过通孔与热敏电阻层连接；钝化绝缘层保护热敏电阻层；复合吸收膜层包括金属层、介质层和金属微阵列，本发明的所涉及的制作方法与传统非制冷红外探测器加工工艺兼容，工艺简单，有利于大规模低成本制备。
- 一种集成偏振非制冷红外探测器及制作方法-201910101141.5
- 梁中翥;孟德佳;陶金;梁静秋;秦余欣;吕金光;侯恩柱;史晓燕;秦正 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2019-01-31 - 2019-05-28 - G01J5/20
- 一种集成偏振非制冷红外探测器及制作方法涉及红外偏振探测与成像技术领域，解决了由于偏振片与成像单元间的对准偏差所产生的成像误差的问题。探测器的焦平面由2*2像元构成的超像元阵列组成，每个像元的狭缝方向从0度开始，以45度为变化量逐一增加或者递减，该焦平面的像元由下至上依次包括：读出电路为具备放大和降低噪声功能的硅基或者锗基CMOS集成电路，在CMOS集成电路设置读出电极对；绝热微桥包括微桥面、两个微支撑结构和两个微悬臂梁；热敏电阻层为温度电阻系数的绝对值高于2％的材料；读出电极通过通孔与热敏电阻层连接；钝化绝缘层保护热敏电阻层；宽带吸收膜层包括金属层、介质层和金属微阵列，本发明工艺简单，有利于大规模低成本制备。
- 一种瞬态成像式红外多光谱温度场测量装置-201910235556.1
- 张学聪;孟苏;张岚;董磊;蔡静;杨永军 - 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
- 2019-03-27 - 2019-05-28 - G01J5/20
- 本发明公开的一种瞬态成像式红外多光谱温度场测量装置，属于辐射测温技术领域。本发明包括前端物镜组、视场光阑、中继镜组、滤光膜、透镜阵列、红外CCD，被测对象为目标。目标通过前端物镜组在视场光阑处成像，经过中继镜组准直，通过上面镀有不同波段滤光膜的透镜阵列，在一个红外CCD的四个象限分别成像，实现多光谱温度场测量。本发明具有如下优点：1、能够自主选择合适的近红外波段，抗干扰能力强，测温结果可靠；2、能够实现对变化的温度场进行瞬态测量，测温效率高；3、无需使用多个CCD，成本较低。
- 一种基于红外测温传感器的温度补偿方法-201910007189.X
- 梁波;叶学松;潘超 - 浙江大学山东工业技术研究院;山东先仪医疗科技有限公司
- 2019-01-04 - 2019-05-21 - G01J5/20
- 本发明提供一种在红外测温时能够降低环境温度的干扰影响，提高红外测温传感器测量精度的温度补偿方法。该方法包括：1)用热敏电阻检测环境温度，线性拟合获得热敏电阻输出电压U0与环境温度T0的线性关系式U0‑T0；2)对热电堆输出电压Ua的计算公式Ua＝sk(Ta4‑T04)进行变换，得到Ta＝T0+K0Ua；3)将线性关系式U0‑T0代入Ta＝T0+K0Ua得到Ta‑U0‑Ua‑K0关系式；4)在环境温度T0’下、用热电堆检测目标物温度，线性拟合热电堆输出电压Ua与目标物温度Ta的线性关系式Ua‑Ta；5)将线性关系式Ua‑Ta与Ta‑U0‑Ua‑K0关系式联立，得到环境温度T0’下K0‑U0‑Ua关系式；6)将环境温度T0’下的热电阻输出电压U0’和热电堆输出电压Ua’代入K0‑U0‑Ua关系式，得到K0值；将K0值代入步骤3)Ta‑U0‑Ua‑K0关系式中，得到环境温度T0’下Ta‑U0‑Ua的温度补偿关系式。
- 一种红外温度非接触测温装置-201821254337.5
- 钟鸣 - 珠海知更电气有限公司
- 2018-08-03 - 2019-05-14 - G01J5/20
- 本实用新型公开了一种红外温度非接触测温装置，包括温度检测模块、处理模块以及无线数据传输模块，所述温度检测模块包括分别与处理模块连接的红外温度检测单元以及温度补偿检测单元，所述红外温度检测单元的输出端还与过载保护模块连接。本实用新型通过采用温度检测模块、处理模块和无线数据传输模块可实时对待测体进行温度测量并将结果发送到后台系统，此外还利用NTC温度传感器对红外温度传感器进行测量，通过处理模块运算可提高对待测体的温度测量结果，降低红外温度传感器自身温度对测量结果的影响。
- 一种偏振敏感型非制冷红外探测器及其制备方法-201710328762.8
- 邱栋;王鹏;陈文礼;王宏臣 - 烟台睿创微纳技术股份有限公司
- 2017-05-11 - 2019-04-30 - G01J5/20
- 本发明涉及一种偏振敏感型非制冷红外探测器，包括第一层悬空结构，所述第一层悬空结构为现有非制冷红外探测器，所述第一层悬空结构上设有第二层悬空结构，所述第二层悬空结构包括光栅支撑层和设置在支所述光栅撑层上的金属光栅结构，能够简化光学系统，提升图像的真实性与有效性；还涉及上述偏振敏感型非制冷红外探测器的制备方法，包括以下步骤：步骤1.在未进行结构释放的现有非制冷红外探测器上制备第二层牺牲层和光栅支撑层；步骤2.制备金属光栅结构；步骤3.结构释放，形成偏振敏感型非制冷红外探测器。
- 三层微桥结构、三层非制冷微测辐射热计及其制备方法-201610302609.3
- 陈超;王涛;马振东;马家锋;伍浏权;齐元 - 电子科技大学
- 2016-05-09 - 2019-04-26 - G01J5/20
- 本发明提供一种三层微桥结构，包括桥面、第二层微桥、第一层微桥、左右铝电极，该微桥结构最上层的桥面铺有光吸收材料以及热敏电阻薄膜和钝化层，桥面与第二层微桥之间形成上层光学谐振腔，两层微桥之间构成了中层光学谐振腔，第一层微桥和底层硅衬底之间构成了下层光学谐振腔，本发明还提供一种包含所述微桥结构的三层非制冷微测辐射热计及其制备方法，本发明微桥结构有三个谐振腔，光学吸收效率得到极大提升；其次在仿真过程中，同样的应力条件下，三层S型微桥结构比单层L型和双层S型两种结构的形变量都要小，这保证了微桥结构良好的力学稳定性。同时，桥腿的增长也提升了器件整体的温升。
- 专利分类
