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[实用新型]光学检测装置以及光学检测设备-CN202223271382.0有效
发明人： 谈小超;姚辛励;朱镇峰;朱永浩;贾昊;蔡欢庆;蔡宏;毛慧;浦世亮 -专利权人：杭州海康威视数字技术股份有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本申请公开了一种光学检测装置以及光学检测设备。该光学检测装置包括安装组件以及检测部件。安装组件包括设有防尘罩，防尘罩设有防尘空间、第一透光区以及第二透光区，第一透光区与第二透光区间隔设置于防尘罩。检测部件包括近红外检测组件以及射线检测组件，近红外检测组件设置于防尘空间内，近红外检测组件与第一透光区之间形成有第一光学路径。射线检测组件设置于防尘空间内，射线检测组件与第二透光区之间形成有第二光学路径，第二光学路经与第一光学路径互不干涉。该光学检测装置以及光学检测设备具有可靠的检测性能。
光学检测装置以及设备

[发明专利]一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统-CN202110386548.4有效
发明人：易飞;万浩威;谈小超;陈岩 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01J3/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统，适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理，将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成，缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构，减少温度变化导致的热变形对干涉的影响，并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪，取消了定镜的使用，对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉，放大光束之间的光程差，从而提高光谱分辨率，降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。
一种基于 mems 干涉仪一体系统

[发明专利]基于等离激元复合微腔的热电堆窄带探测器及其制备方法-CN202111404460.7在审
发明人：易飞;曾洋;谈小超 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01J5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于等离激元复合微腔的热电堆窄带探测器及其制备方法，属于热红外探测领域。本发明采用介质材料作为微腔，共振主要存在于微腔中，解决了以往采用金属材料而带来的损耗问题，大大提升了吸收曲线的Q值，提升了探测效率，并且能够在近中红外波段范围内实现对特定波段的窄带热探测。将等离激元复合微腔与热电堆结合，通过调整等离激元复合微腔的尺寸大小，实现可调控的窄带吸收；同时结合现今热电堆的成熟工艺，采用标准的半导体加工工艺，可实现本发明中热电堆红外窄带探测器的规模化集成化生产，简化了热探测器工艺流程，大幅度降低制造成本。
基于离激元复合热电窄带探测器及其制备方法

[发明专利]一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法-CN201911161561.9有效
发明人：刘欢;邢朝洋;朱政强;崔尉;李华曜;严棋;胡志响;谈小超;翟博慧;田枝来 -专利权人：华中科技大学;北京航天控制仪器研究所
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法，属于红外气体传感器技术领域。该传感器包括光电探测器、MEMS红外光源、上层硅片、下层衬底和信号处理ASIC芯片；所述上层硅片和下层衬底键合形成气室，气室内蒸镀有反射层，硅片键合面上分布有气体扩散槽；所述光电探测器、MEMS红外光源和信号处理ASIC芯片设于所述气室上部，在所述上层硅片上开设有分别对准所述光电探测器和MEMS红外光源的光电探测器窗口和红外光源窗口，MEMS红外光源发出的光从红外光源窗口入射至所述反射层，发生多次反射后进入光电探测器。本发明利用MEMS工艺实现了NDIR气体传感器的进一步微型化、全集成，并提高了灵敏度。
一种微型集成 ndir 气体传感器及其制备方法

[发明专利]一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用-CN201911035464.5有效
发明人：易飞;郭颂;万浩威;谈小超;张建兵;刘欢 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明属于偏振相关窄带探测器领域，具体涉及一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用。本发明探测器自下而上包括衬底、金属背板、二氧化硅层、叉指电极结构阵列层以及胶体量子点层；所述叉指电极结构阵列层由若干个叉指电极单元结构纵横排列构成，所述叉指电极单元结构包括中空结构以及中空结构两侧的条形金属，所述中空结构包括两端的中空条形结构以及中间的中空增宽结构。本发明通过调节叉指结构阵列的几何结构参数实现可见光到红外光的特定波长吸收，具有偏振探测能力，提高传统胶体量子点探测器探测灵敏度，能够应用于红外探测领域，并与新型探测材料胶体量子点相结合，形成了集成化，功能一体化的新型红外探测器。
一种电极结构偏振相关窄带探测器制备应用

[发明专利]一种光谱分析芯片及其制备方法-CN201810200969.1有效
发明人：刘欢;唐江;易飞;张建兵;张宝晖;谈小超 -专利权人：华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本发明公开了一种光谱分析芯片及其制备方法，该光谱分析芯片从下至上依次包括硅衬底层、量子点光敏薄膜、以及光学天线，其中，光学天线是由金属纳米结构周期性排列得到的阵列；该光谱分析芯片还包括至少一对与量子点光敏薄膜接触的金属电极构成光电探测器。探测芯片制备分三步：制备光学天线；制备量子点光敏薄膜；制作电极完成芯片制备。本发明利用金属纳米结构与量子点光敏薄膜之间的协同配合，利用光学天线的滤波和光场增强功能以及量子点的量子限域效应，对量子点光敏薄膜的光电响应进行波长调制和增敏，实现高灵敏、窄通带、可调谐的光电探测器单元，集成制备得到高灵敏光谱分析芯片。
量子点制备光敏薄膜光谱分析光学天线芯片金属纳米结构灵敏光电探测器单元量子限域效应光电探测器周期性排列波长调制光电响应硅衬底层金属电极探测芯片芯片制备增强功能可调谐窄通带电极光场滤波增敏协同制作配合

[发明专利]一种热探测器及其制备方法-CN201710488564.8有效
发明人：易飞;李君宇;谈小超;杨奥;郭颂;周仑;蒋顺;侯铭铭 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。
一种探测器及其制备方法

[发明专利]一种钽酸锂窄带探测器及其制备方法-CN201710579047.1有效
发明人：易飞;谈小超;李君宇;甘如雷;陈宇瑶;郭颂;杨奥;蒋顺 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种钽酸锂窄带探测器及其制备方法，属于热释电红外探测器领域。探测器包括探测器本体和电磁超表面结构，电磁超表面结构设置在探测器本体上，其中，探测器本体包括从下至上设置的硅底座支撑、下电极、钽酸锂晶片、上电极，电磁超表面结构包括自下而上设置金背板、介质层以及天线，其中，金背板与上电极为同一物体，两者共用。本发明还提供了钽酸锂窄带探测器的制备方法，本发明采用超表面技术对传统的热释电探测器没有波长选择性的缺陷进行改进，在一定波长范围内能够实现对特定波长的检测，并且简化了红外探测器的制备流程。
一种钽酸锂窄带探测器及其制备方法

[发明专利]一种太赫兹波吸波体、制备方法及应用-CN201710488566.7有效
发明人：易飞;甘如雷;陈宇遥;谈小超;李君宇;杨奥;郭颂;蒋顺 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： H01Q17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种太赫兹波吸波体、制备方法及应用，该太赫兹吸波体包括从上至下依次排列的天线阵列、介质层以及金属层，天线阵列包括多个呈阵列排布的天线单元，天线单元包括四个呈旋转对称的天线结构，天线结构呈未封闭的凹字形结构，天线结构开口位于凹字形左侧；介质层厚度为使经过天线阵列反射的反射光和经过金属层反射的反射光相位相差π，由于天线结构呈未封闭的凹字形结构，能够在天线结构所占据面积小情况下增加天线结构的有效长度，实现对太赫兹波段光吸收，介质层厚度使经过天线阵列反射的反射光和经过金属层反射的反射光相消，进而提高太赫兹吸波体的吸收率。
一种赫兹波吸波体制备方法应用

[发明专利]一种条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备与应用-CN201710308855.4有效
发明人：易飞;郭颂;刘欢;谈小超;杨奥;李君宇;蒋顺;周仑 -专利权人：华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
申请日： 2017-05-04 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于胶体量子点的条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备方法，包括如下步骤：向玻璃板上生长一层硅；旋涂光刻胶；转移条形阵列结构进行显影处理；去胶处理；旋涂量子点；通过电子束蒸发设备蒸镀一层金。本发明利用条形阵列结构对短波红外特定波长的谐振作用，实现对特定波长光的全吸收，通过调节条形阵列结构的几何结构参数来控制光学吸收，实现了特定波长可调，实现可见光到红外光的吸收，且具有偏振相关性，进而胶体量子点材料制成探测器。该制备方法简易，响应迅速，可操作性强，具有广泛的应用前景。
一种条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备应用

[发明专利]一种钽酸锂窄带气体探测器及其制备方法-CN201711418037.6在审
发明人：易飞;谈小超;刘欢;甘如雷;李君宇;杨奥;张恒;蒋顺 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种钽酸锂窄带气体探测器及其制备方法，属于气体探测领域，钽酸锂窄带气体探测器，包括从下至上的下电极、钽酸锂晶片、金背板、介质层和天线阵列，所述天线阵列为多个呈阵列分布的天线，用于吸收光；所述介质层，用于使吸收的光产生共振得到电磁能量；所述金背板，用于将电磁能量转换成焦耳热；所述钽酸锂晶片，用于吸收焦耳热释放正负电荷；所述下电极，用于吸收负电荷；所述金背板，还用于吸收正电荷；探测器根据正负电荷得到电信号，根据电信号实现对气体浓度和种类的探测。本发明具有波长选择性、能够检测多种气体、同时探测多种气体时成本低且易封装。
气体探测器钽酸锂背板窄带钽酸锂晶片正负电荷吸收焦耳热介质层下电极制备探测电磁能量转换波长选择性电磁能量气体探测天线阵列阵列分布负电荷光产生天线阵吸收光正电荷探测器共振封装天线释放检测

[发明专利]一种基于介质微柱阵列的红外吸波体及制备方法-CN201710319273.6在审
发明人：易飞;常晟源;李君宇;谈小超;杨奥;郭颂;蒋顺;周仑 -专利权人：华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
申请日： 2017-05-09 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于介质微柱阵列的红外吸波体及其制备方法；该红外吸波体包括介质微柱阵列、介质层以及金属层；介质微柱阵列用于对入射光波长进行筛选处理，介质层用于使筛选后的入射光谐振产生电磁波，金属层用于将所述电磁波转化为热能吸收。该红外吸波体具有高品质因数，吸收峰宽度极窄的优点。当柱体高度为630nm～1210nm，柱体直径为809nm～1980nm，两个相邻柱体中心距离为1300nm～3600nm；以及介质层其厚度为1030nm～2310nm时，实现在介质微柱阵列表面的玻印亭矢量为零，进而保证吸收峰波长与入射角度在一定范围内无关；并实现吸波体的品质因数可以高于100，具有窄的吸收峰带宽。
一种基于介质阵列红外吸波体制备方法

[发明专利]一种窄带红外探测芯片及其制作方法-CN201610580080.1在审
发明人：周仑;李君宇;谈小超;杨奥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种窄带红外探测芯片及其制作方法，包括以下步骤：选取单晶硅片，蒸镀一定厚度的金；通过PECVD设备进行表面沉积一定厚度的SiO₂；旋涂PMMA曝光胶；设计十字交叉结构的纳米棒阵列，精确控制纳米棒阵列的尺寸参数，通过电子束曝光设备将所设计的结构转移至PMMA曝光胶；进行曝光处理，并通过电子束蒸镀设备进行金蒸镀；进行化学溶液浸泡，去掉PMMA曝光胶，此时硅片上会呈现十字形纳米棒的阵列结构。本发明通过引入光学纳米结构的参数优化设计，实现窄带的红外探测，制造工艺简单可靠，更有利于技术的推广和普及。
一种窄带红外探测芯片及其制作方法

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