[发明专利]离子植入系统、离子植入设备及抽取板有效
| 申请号： | 201880069665.4 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN111279451B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 亚当·M·麦劳克林;奎格·R·钱尼 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种利用通过密度的变化来控制热梯度及热能流的构件的系统，特别是公开一种离子植入系统、离子植入设备及抽取板。本发明还公开制作所述构件的方法。所述构件是使用加成制造来制造。这样一来，可视需要来定制构件的不同区的密度。举例来说，可在构件的区的内部中形成格构图案，以减小所使用的材料量。这减小重量并且还降低所述区的导热性。通过使用低密度区及高密度区，可控制热能流以适应设计约束。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 系统 设备 抽取 | ||
【主权项】：
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- 2016-03-04 - 2018-11-06 - H01J37/16
- 本发明的目的在于提供小型、高性能且容易搬送的带电粒子射线装置。本发明所涉及的带电粒子射线装置具备可装卸的主体单元和辅助单元，所述主体单元收容与带电粒子射线相关的功能部，所述辅助单元收容电源部(参照图1)。
- 扫描电子显微镜及图像生成方法-201580005384.9
- 河西晋佐;大南佑介 - 株式会社日立高新技术
- 2015-02-10 - 2018-10-19 - H01J37/16
- 在能在大气压下进行观察的带电粒子线装置中，使用使带电粒子线透过的隔膜，对配置试样的大气压空间和带电粒子光学系统侧的真空空间进行隔离。该隔膜非常薄，因此破损的情况多。因此，产生隔膜的更换频率增加，由更换作业带来的便利性下降、运转费用增加之类的问题。为了解决该课题，参照图1，扫描电子显微镜的特征在于，具备：电子光学镜筒(2)，其将一次电子线照射至试样(6)上；箱体(7)，其与电子光学镜筒内部直接连结，至少在一次电子线的照射中，使内部与上述电子光学镜筒内部相比为低真空的状态；以及隔膜(10)，其对载置试样(6)的大气压环境的空间和低真空状态的箱体的内部进行隔离，并且供上述一次电子线透过。
- 专利分类
