“亚当·M·麦劳克林”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果7个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]离子源及箔衬垫-CN201980021860.4有效
发明人：奎格·R·钱尼;亚当·M·麦劳克林;詹姆士·A·萨金特;约书亚·M·阿比沙斯 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：公开一种包括多个箔层的箔衬垫及离子源。所述箔层可各自为堆叠在彼此顶部的导电材料。相邻箔层之间的间隔可生成热梯度，使得等离子体的温度比离子源室的温度热。在其他实施例中，可组装箔层以吸收来自等离子体的热量，使得等离子体比离子源室的温度冷。在一些实施例中，在一个或多个箔层上设置间隙或突起以影响热梯度。在某些实施例中，一个或多个箔层可由绝缘材料构成以进一步影响热梯度。箔衬垫可易于在离子源室内组装、安装及更换。
离子源衬垫

[发明专利]用于向离子源递送馈入气体的系统-CN201980051802.6有效
发明人：奎格·R·钱尼;亚当·M·麦劳克林 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种用于减少馈入气体在进入离子源腔室的气体管上的堵塞及沉积的系统，特别是公开一种用于向离子源递送馈入气体的系统。为降低气体管的整体温度，在离子源腔室与气体管之间设置由隔热材料制成的气体衬套。气体衬套由例如钛、石英、氮化硼、氧化锆或陶瓷等隔热材料制成。气体衬套具有与离子源腔室及气体管进行流体连通的内通道，以容许馈入气体流向离子源腔室。气体衬套可具有对称的形状，从而容许其被翻转以延长其使用寿命。在一些实施例中，气体管可与散热器连通以保持气体管的温度。
用于离子源递送气体系统

[发明专利]离子植入系统、离子植入设备及抽取板-CN201880069665.4有效
发明人： 亚当·M·麦劳克林;奎格·R·钱尼 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01J37/16 文献下载
摘要：本发明公开一种利用通过密度的变化来控制热梯度及热能流的构件的系统，特别是公开一种离子植入系统、离子植入设备及抽取板。本发明还公开制作所述构件的方法。所述构件是使用加成制造来制造。这样一来，可视需要来定制构件的不同区的密度。举例来说，可在构件的区的内部中形成格构图案，以减小所使用的材料量。这减小重量并且还降低所述区的导热性。通过使用低密度区及高密度区，可控制热能流以适应设计约束。
离子植入系统设备抽取

[发明专利]可动态地调整面板温度的离子源及其设备-CN201880079272.1有效
发明人：艾力克斯恩德·S·培尔;大卫·P·斯波德莱;亚当·M·麦劳克林;奎格·R·钱尼;奈尔·J·巴森 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：公开一种可动态地调整面板温度的离子源及其设备。本发明公开一种用于使离子源的面板的温度变化的系统及方法。所述面板是通过多个紧固件而被抵靠离子源的腔室壁进行固持。这些紧固件可包括拉伸弹簧或压缩弹簧。通过改变拉伸弹簧或压缩弹簧在承受载荷时的长度，可增大弹簧的弹簧力。弹簧力的此种增大会增大面板与腔室壁之间的压缩力，从而形成改善的导热性。在某些实施例中，通过电子长度调整器来调节弹簧的长度。此电子长度调整器与控制器进行通信，所述控制器输出指示弹簧的所需长度的电信号。本发明公开用于调整弹簧的长度的各种机构。
动态调整面板温度离子源及其设备

[发明专利]用于离子注入系统的热隔离系留特征-CN202180023400.2在审
发明人： 亚当·M·麦劳克林;乔丹·B·泰伊 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开安置在离子注入系统的各种组件中的热隔离系留特征。例如排斥极和侧电极的电极可构造成具有充当电极杆的系留特征。归因于安置在保持电极杆的扩口头的内腔中的间隙，电极杆与电极块进行最小的物理接触。通过这种方式，电极块的温度可保持高于否则在传导降低时可能的温度。此外，这一概念可应用于工件固持器。举例来说，陶瓷压板制造成具有用于将压板附连到底座的一个或多个系留紧固件。这可最小化压板与底座之间的热传导，同时提供改进的机械连接。
用于离子注入系统隔离特征

[发明专利]隔热斥拒极以及电极-CN202080061716.6在审
发明人： 亚当·M·麦劳克林;奎格·R·钱尼;乔丹·B·泰伊 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：公开一种具有隔热斥拒极的离子源。斥拒极包括斥拒极盘及多个轮辐，所述多个轮辐起始于斥拒极盘的后表面且终止于柱。在某些实施例中，柱在其长度的至少一部分上可为中空的。使用轮辐而非中心杆可减少从斥拒极盘到柱的热传导。通过并入中空柱，热传导被进一步降低。此种配置可将斥拒极盘的温度增加多于100℃。在某些实施例中，在斥拒极盘的后表面上设置有辐射屏蔽体，以减少从斥拒极盘的侧面发射的辐射量。此也可有助于增加斥拒极的温度。类似的设计可用于离子源中的其他电极。
隔热斥拒极以及电极

[发明专利]使用增材制造的互锁用嵌入式特征-CN201980012729.1在审
发明人：奎格·R·钱尼;亚当·M·麦劳克林 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本公开阐述一种用于判断半导体制造系统中的组件是否被授权在此系统中使用的方法及装置。通过在组件中嵌入识别特征，控制器可判断此组件是否有资格在系统中使用。在检测到未授权的组件时，系统可向用户报警、或者在某些实施例中，停止操作系统。这种识别特征利用增材制造工艺嵌入到组件中，所述增材制造工艺允许识别特征嵌入到组件中而不使识别特征经受极端温度。
使用制造互锁嵌入式特征

1
共 7 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top