[发明专利]具有短路失效模式的功率半导体模块有效

专利信息
申请号: 201880009810.X 申请日: 2018-02-01
公开(公告)号: CN110268517B 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 柳春雷;J.舒德雷尔;F.布雷姆;M.拉希莫;P.K.施泰默;F.杜加尔 申请(专利权)人: 日立能源瑞士股份公司
主分类号: H01L23/051 分类号: H01L23/051;H01L23/535;H01L23/62;H01L25/07;H01L29/16;H01L23/00
代理公司: 北京市汉坤律师事务所 11602 代理人: 王其文;张涛
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 功率半导体模块(10)包括:基板(12);包括Si衬底的Si芯片(16a),该Si芯片(16a)附接到基板(12);利用第一压销(24a)紧压Si芯片(16a)的第一金属预制件(22a);宽带隙材料芯片(16b),其包括宽带隙衬底和在该宽带隙衬底中提供的半导体开关(28b),该宽带隙材料芯片(16b)附接到基板(12);以及利用第二压销(24b)紧压宽带隙材料芯片(16b)的第二金属预制件(22b);其中Si芯片(16a)和宽带隙材料芯片(16b)经由基板(12)并且经由第一压销(24a)和第二压销(24b)并联连接;其中第一金属预制件(22a)适合于在被过电流加热时形成通过Si芯片(16a)的传导路径;并且其中第二金属预制件(22b)适合于在被过电流加热时形成通过宽带隙材料芯片(16b)的暂时的传导路径或开路。
搜索关键词: 具有 短路 失效 模式 功率 半导体 模块
【主权项】:
1.一种功率半导体模块(10),包括:基板(12);包括Si衬底的Si芯片(16a),所述Si芯片(16a)附接到所述基板(12);利用第一压销(24a)紧压所述Si芯片(16a)的一侧的第一金属预制件(22a);宽带隙材料芯片(16b),所述宽带隙材料芯片(16b)包括宽带隙衬底和所述宽带隙衬底中提供的半导体开关(28b),所述宽带隙材料芯片(16b)附接到所述基板(12);利用第二压销(24b)紧压所述宽带隙材料芯片(16b)的一侧的第二金属预制件(22b);其中所述Si芯片(16a)和所述宽带隙材料芯片(16b)经由所述基板(12)并且经由所述第一压销(24a)和所述第二压销(24b)并联连接;其中所述第一金属预制件(22a)适合于在被过电流加热时通过与所述Si衬底形成合金而形成通过所述Si芯片(16a)的传导路径;其中由具有比所述第一金属预制件(22a)的材料更高的熔点的材料制成的所述第二金属预制件(22b)适合于在被过电流加热时形成通过所述宽带隙材料芯片(16b)的至少暂时的传导路径。
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