[实用新型]一种硅片分片机有效
| 申请号： | 201821812461.9 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN208806229U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李永杰;张建峰;朱元;王森 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/673;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 224431 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片分片机，涉及太阳能电池生产设备技术领域。该硅片分片机包括升降台、吹气组件及传送组件，所述升降台能够固定放置有硅片的收纳机构；所述吹气组件能够向位于所述收纳机构同一卡槽内的两张硅片之间吹气，以使同一卡槽内位于上方的所述硅片悬浮；所述传送组件能够将所述卡槽内的硅片输出。该硅片分片机中，升降台承载花篮，硅片放置在花篮的卡槽内，通过吹气组件向贴合在一起的两片硅片之间吹气，使得位于上方的硅片在气流的作用下悬浮，之后通过传送组件将位于下方的硅片送出，从而实现分片；通过升降台的升降，可以使花篮内任一卡槽与吹气组件相对，以便分别对花篮内多个卡槽内的硅片分片。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 硅片分片 升降台 卡槽 吹气组件 传送组件 花篮 收纳机构 吹气 悬浮 太阳能电池生产设备 本实用新型 固定放置 硅片放置 送出 贴合 升降 承载 输出 | ||
【主权项】：
1.一种硅片分片机，其特征在于，包括：升降台(1)，所述升降台(1)能够固定放置有硅片(5)的收纳机构；吹气组件，所述吹气组件能够向位于所述收纳机构同一卡槽内的两张硅片(5)之间吹气，以使同一卡槽内位于上方的所述硅片(5)悬浮；及传送组件(3)，所述传送组件(3)能够将所述卡槽内的硅片(5)输出。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
