[发明专利]有源矩阵基板及其制造方法

摘要

本发明的课题在于提供一种也可适用于大型液晶面板的有源矩阵基板。有源矩阵基板(100)具备源极总线及栅极总线、分别配置于各像素区域P的薄膜晶体管(10)及像素电极PE、隔着介电层配置于像素电极上的共用电极CE、以及在显示区域内配置于栅极金属层与源极金属层之间的旋涂玻璃层(23)，像素电极是由与薄膜晶体管的氧化物半导体层(7)相同的金属氧化物膜形成，旋涂玻璃层在各像素区域内的形成有薄膜晶体管的部分具有开口部(23p)，旋涂玻璃层位于源极总线SL与栅极总线GL交叉的交叉部Dsg的源极总线与栅极总线之间、且位于各像素区域内的像素电极PE的至少一部分与基板(1)之间。

主权项

1.一种有源矩阵基板，具有包含多个像素区域的显示区域、及所述显示区域以外的非显示区域，该有源矩阵基板的特在在于，包括：基板；被所述基板支持的、沿第1方向延伸的多根源极总线、及沿与所述第1方向交叉的第2方向延伸的多根栅极总线；分别配置于所述多个像素区域的薄膜晶体管及像素电极；隔着介电层配置于所述像素电极上的共用电极；及配置于所述显示区域内的、包含所述多根栅极总线的栅极金属层与包含所述多根源极总线的源极金属层之间的旋涂玻璃层；所述薄膜晶体管具有形成于所述栅极金属层的栅极电极、覆盖所述栅极电极的栅极绝缘层、配置于所述栅极绝缘层上的氧化物半导体层、形成于所述源极金属层且电连接于所述氧化物半导体层的源极电极及漏极电极，所述栅极电极与所述多根栅极总线中的对应的一根电连接，所述源极电极与所述多根源极总线中的对应的一根电连接，所述漏极电极与所述像素电极相接，所述像素电极是由与所述氧化物半导体层相同的金属氧化物膜形成，所述旋涂玻璃层在所述多个像素区域的每一个区域内，在形成所述薄膜晶体管的部分具有开口部，所述旋涂玻璃层位于所述多根源极总线中的一根与所述多根栅极总线中的一根交叉的交叉部的、所述一根源极总线与所述一根栅极总线之间，且位于所述多个像素区域的每一个区域内的、所述像素电极的至少一部分与所述基板之间。