[发明专利]可调谐光发射器件及其制备方法在审
申请号: | 201811218819.X | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN109494285A | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 张保平 | 申请(专利权)人: | 世坤(厦门)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/10 | 分类号: | H01L33/10;H01L33/24;H01L33/32;H01L33/00;H01S5/183;H01S5/343 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361005 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供了一种可调谐光发射器件及其制备方法,具有一外延层结构,位于外延层结构两侧的上反射镜和下反射镜,以及分别与外延层结构相连的上电极和下电极;外延层结构具有第一类型外延层、第二类型外延层、位于第一类型外延层和第二类型外延层之间的有源区;第一类型不同于第二类型;有源区采用不同尺寸、不同材料和/或不同结构的量子结构和/或纳米结构。本发明采用宽光谱增益有源区,得到了可调谐增益特性。结合谐振腔效应,得到了发光波长在不同模式之间可调谐输出特性。由于采用了不同尺寸、不同结合和不同化学组分的纳米结构和/或量子点结构,引起能带结构变化,获得宽光谱增益,再结合谐振腔的选模作用,实现大范围多模式可调谐。 | ||
搜索关键词: | 可调谐 外延层结构 外延层 源区 光发射器件 纳米结构 宽光谱 谐振腔 制备 量子点结构 发光波长 量子结构 能带结构 上反射镜 输出特性 下反射镜 增益特性 电极 多模式 下电极 选模 | ||
【主权项】:
1.一种可调谐光发射器件,具有一外延层结构,位于外延层结构两侧的上反射镜和下反射镜,以及分别与外延层结构相连的上电极和下电极;所述外延层结构具有第一类型外延层、第二类型外延层、位于第一类型外延层和第二类型外延层之间的有源区;第一类型不同于第二类型;其特征在于,所述有源区采用不同尺寸、不同材料和/或不同结构的量子结构和/或纳米结构。
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