[发明专利]一种图形密度的分析方法有效

专利信息
申请号: 201811154697.2 申请日: 2018-09-30
公开(公告)号: CN109359363B 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 程玮;朱忠华;魏芳 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F30/392 分类号: G06F30/392;G06F119/18
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 徐伟
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种图形密度的分析方法,用以分析版图的局部图形密度,包括:获取位于待分析版图区域上每一个版图图形的图形属性;对每一个版图图形,基于对应的图形属性设定该版图图形的相关窗口;计算每一个相关窗口的图形密度;以及选取相关窗口的图形密度中的最大值为上述版图的最大局部图形密度,选取相关窗口的图形密度中的最小值为上述版图的最小局部图形密度。根据本发明所提供的分析方法,能够基于版图图形的属性构建检查窗口,使得更准确、有效地获取版图图形上具有最大密度和最小密度的窗口区域,避免了误差与疏漏。
搜索关键词: 一种 图形 密度 分析 方法
【主权项】:
1.一种图形密度的分析方法,用以分析版图的局部图形密度,包括:获取位于所述版图中待分析版图区域上每一个版图图形的图形属性;对每一个版图图形,基于对应的图形属性设定该版图图形的相关窗口;计算每一个相关窗口的图形密度;以及选取相关窗口的图形密度中的最大值为所述版图的最大局部图形密度,选取相关窗口的图形密度中的最小值为所述版图的最小局部图形密度。
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