[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法、压力测量装置有效
| 申请号： | 201811099296.1 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN109231156B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 赵湛;刘振宇;杜利东;方震 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式压力传感器，适用于传感器领域，包括衬底和盖板，衬底包括顶层、底层和绝缘层，底层的下表面上开设有凹槽，盖板罩盖凹槽，以使凹槽形成真空空腔，以及，使凹槽的槽底形成压敏薄膜，顶层上开设有可动叉指电容和固定叉指电容，其相互交错等距离排列，可动叉指电容通过位于其正下方的绝缘层贴合压敏薄膜，固定叉指电容正下方的绝缘层悬空位于底层和固定叉指电容之间。本发明实施例还公开了一种电容式压力传感器的制备方法、压力测量装置，当压敏薄膜受力发生形变时，可使可动叉指电容相对于固定叉指电容之间的正对面积的改变，进而电容值发生改变，具有良好的线性输出，同时，真空密封性好，可避免真空空腔内电极的引出。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 压力 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：衬底10和盖板20；衬底10包括顶层101、底层102和绝缘层103，绝缘层103位于顶层101和底层102之间；底层102的下表面上开设有凹槽，盖板20罩盖所述凹槽，以使所述凹槽形成真空空腔1021，以及，使所述凹槽的槽底形成压敏薄膜1022；顶层101上开设有至少一个可动叉指电容1011和至少一个固定叉指电容1012，可动叉指电容1011和固定叉指电容1012相互交错等距离排列，位于压敏薄膜1022的正上方；可动叉指电容1011通过位于其正下方的绝缘层103贴合压敏薄膜1022，以便于可动叉指电容1011跟随压敏薄膜1022振动；固定叉指电容1012正下方的绝缘层103，悬空位于底层102和固定叉指电容1012之间，以防止固定叉指电容1012跟随压敏薄膜1022振动。
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