[发明专利]一种MoS2/MoO2异质结的制备方法在审
| 申请号： | 201811037524.2 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109207957A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈波;韩燕;薛林;李向前 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 任林芳 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种MoS2/MoO2异质结的制备方法，属于纳米光电子材料制备技术领域，可解决现有异质结的制备方法容易引入杂质，重复性差的问题，以固态S和MoO3为前驱体，经过化学气相反应后在目标衬底上合成MoS2/MoO2异质结，其中，管式炉温区中S蒸汽的浓度可以通过载气流量的大小来调节。相比于定位机械转移法，该方法可以稳定高效地制备大面积MoS2/MoO2异质结，也可以扩展到以二维过渡金属硫族化合物为基础的范德华异质结的制备中。所得到MoS2/MoO2异质结既可以用于科学研究，又可以用于制作纳米光电子器件。 | ||
| 搜索关键词： | 异质结 制备 过渡金属硫族化合物 纳米光电子材料 纳米光电子器件 化学气相反应 制备技术领域 定位机械 载气流量 前驱体 转移法 衬底 二维 管式 炉温 蒸汽 科学研究 合成 引入 制作 | ||
【主权项】：
1.一种MoS2/MoO2异质结的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步，在石英管管式炉中，将装有S粉的陶瓷舟放置于气路下游，装有MoO3粉末的陶瓷舟放置于气路上游，SiO2/Si衬底置于石英管管式炉温区中心位置；第二步，将石英管内的空气抽除，充入载气，直到石英管内的压强恢复至大气压，再将石英管内的气体抽除，再次充入载气，使石英管内的压强恢复到大气压；第三步，调节载气流量为20‑30sccm，加热管式炉，使S蒸汽和MoO3蒸汽反应，在SiO2/Si衬底上合成MoS2/MoO2异质结。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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