[发明专利]集成电路的密封环结构及其形成方法有效
申请号: | 201811000801.2 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN109427691B | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 尼古拉斯·A·波洛莫夫;文生·J·麦加贺 | 申请(专利权)人: | 格芯(美国)集成电路科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/28 | 分类号: | H01L23/28;H01L23/00 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种集成电路的密封环结构及其形成方法,该密封环结构包括:限定该集成电路的一第一部分的一第一不连续密封壁,该第一密封壁形成一第一图案于一基板上,以及限定该集成电路的一第二部分的一第二不连续密封壁,该第二密封壁形成一第二图案于该基板上,且该第二部分至少部分地偏离该第一部分,其中,该第一密封壁的该第一图案与该第二密封壁的该第二图案互锁,使得该些图案交织而不相交,其中,一间隔形成于该些密封壁之间,该间隔生成通至该集成电路的一非线性路径,且其中,该密封环结构完全限定该集成电路。一种形成这种密封环结构的方法也被公开。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 密封 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种集成电路的密封环结构,其特征在于,包括:一第一不连续密封壁,其限定该集成电路的一第一部分,该第一密封壁形成一第一图案于一基板上;以及一第二不连续密封壁,其限定该集成电路的一第二部分,该第二密封壁形成一第二图案于该基板上,且该第二部分至少部分偏离该第一部分;其中,该第一密封壁的该第一图案与该第二密封壁的该第二图案互锁,使得该些图案交织而不相交;其中,一间隔形成于该些密封壁之间,该间隔生成通至该集成电路的一非线性路径;以及其中,该密封环结构完全限定该集成电路。
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