[发明专利]集成电路的密封环结构及其形成方法有效

专利信息
申请号: 201811000801.2 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN109427691B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 尼古拉斯·A·波洛莫夫;文生·J·麦加贺 申请(专利权)人: 格芯(美国)集成电路科技有限公司
主分类号: H01L23/28 分类号: H01L23/28;H01L23/00
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种集成电路的密封环结构及其形成方法,该密封环结构包括:限定该集成电路的一第一部分的一第一不连续密封壁,该第一密封壁形成一第一图案于一基板上,以及限定该集成电路的一第二部分的一第二不连续密封壁,该第二密封壁形成一第二图案于该基板上,且该第二部分至少部分地偏离该第一部分,其中,该第一密封壁的该第一图案与该第二密封壁的该第二图案互锁,使得该些图案交织而不相交,其中,一间隔形成于该些密封壁之间,该间隔生成通至该集成电路的一非线性路径,且其中,该密封环结构完全限定该集成电路。一种形成这种密封环结构的方法也被公开。
搜索关键词: 集成电路 密封 结构 及其 形成 方法
【主权项】:
1.一种集成电路的密封环结构,其特征在于,包括:一第一不连续密封壁,其限定该集成电路的一第一部分,该第一密封壁形成一第一图案于一基板上;以及一第二不连续密封壁,其限定该集成电路的一第二部分,该第二密封壁形成一第二图案于该基板上,且该第二部分至少部分偏离该第一部分;其中,该第一密封壁的该第一图案与该第二密封壁的该第二图案互锁,使得该些图案交织而不相交;其中,一间隔形成于该些密封壁之间,该间隔生成通至该集成电路的一非线性路径;以及其中,该密封环结构完全限定该集成电路。
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