[发明专利]一种多芯片封装工艺有效

专利信息
申请号: 201810946809.1 申请日: 2018-08-20
公开(公告)号: CN109243986B 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 冯亚蜂 申请(专利权)人: 浙江亚芯微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/67;H01L21/50
代理公司: 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 代理人: 俞培锋
地址: 314419 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种多芯片封装工艺。它解决了现有多芯片封装件没有相应的封装工艺,无法批量生产,生产速度慢等技术问题。本多芯片封装工艺,包括如下步骤:a、减薄;b、划片;c、一次粘贴;d、一次固化;e、二次粘贴;f、二次固化;g、压焊;h、塑封;i、冲塑;j、去溢料;k、电镀;l、打印;m、切筋成型;n、检测。本发明具有生产快速的优点。
搜索关键词: 一种 芯片 封装 工艺
【主权项】:
1.一种多芯片封装工艺,其特征在于,包括如下步骤:a、减薄:通过机械研磨的方式对晶圆进行减薄,晶圆减薄最终厚度为250‑280μm;b、划片:通过划片机对减薄后的晶圆进行划片;c、一次粘贴:通过装片机将第一层单个芯片粘贴到引线框的底座上,使用的胶水为导电胶;d、一次固化:将一次粘贴后的半成品放入到固化设备中,使导电胶固化;e、二次粘贴:通过装片机将第二层多个芯片分别粘贴到引线框的支架上,使用的胶水为绝缘胶;f、二次固化:将二次粘贴后的半成品放入到固化设备中,使绝缘胶固化;g、压焊:通过焊线机对第一层芯片和第二层芯片进行焊线;h、塑封:通过配制装置对塑封材料进行配制,通过塑封机对压焊后的半成品进行塑封;i、冲塑;j、去溢料;通过去溢料设备将冲塑后的半成品上的残胶去除;k、电镀:通过电镀装置对去溢料后的半成品的引脚进行电镀;l、打印;通过打标机将产品的信息打印到电镀后的半成品上;m、切筋成型:通过剪切机将电镀后的半成品按规定尺寸进行切开,制得成品;n、检测:通过测试机对成品进行电性检测。
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