[发明专利]一种多芯片封装工艺有效
申请号: | 201810946809.1 | 申请日: | 2018-08-20 |
公开(公告)号: | CN109243986B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 冯亚蜂 | 申请(专利权)人: | 浙江亚芯微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67;H01L21/50 |
代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314419 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种多芯片封装工艺。它解决了现有多芯片封装件没有相应的封装工艺,无法批量生产,生产速度慢等技术问题。本多芯片封装工艺,包括如下步骤:a、减薄;b、划片;c、一次粘贴;d、一次固化;e、二次粘贴;f、二次固化;g、压焊;h、塑封;i、冲塑;j、去溢料;k、电镀;l、打印;m、切筋成型;n、检测。本发明具有生产快速的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种多芯片封装工艺,其特征在于,包括如下步骤:a、减薄:通过机械研磨的方式对晶圆进行减薄,晶圆减薄最终厚度为250‑280μm;b、划片:通过划片机对减薄后的晶圆进行划片;c、一次粘贴:通过装片机将第一层单个芯片粘贴到引线框的底座上,使用的胶水为导电胶;d、一次固化:将一次粘贴后的半成品放入到固化设备中,使导电胶固化;e、二次粘贴:通过装片机将第二层多个芯片分别粘贴到引线框的支架上,使用的胶水为绝缘胶;f、二次固化:将二次粘贴后的半成品放入到固化设备中,使绝缘胶固化;g、压焊:通过焊线机对第一层芯片和第二层芯片进行焊线;h、塑封:通过配制装置对塑封材料进行配制,通过塑封机对压焊后的半成品进行塑封;i、冲塑;j、去溢料;通过去溢料设备将冲塑后的半成品上的残胶去除;k、电镀:通过电镀装置对去溢料后的半成品的引脚进行电镀;l、打印;通过打标机将产品的信息打印到电镀后的半成品上;m、切筋成型:通过剪切机将电镀后的半成品按规定尺寸进行切开,制得成品;n、检测:通过测试机对成品进行电性检测。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造