[发明专利]一种提高区熔硅单晶用多晶棒料利用率的方法在审

专利信息
申请号: 201810839106.9 申请日: 2018-07-26
公开(公告)号: CN109252209A 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 郝大维;刘凯;边智学;刘琨;王广明;孙晨光;王彦君;孙健 申请(专利权)人: 天津中环领先材料技术有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00;C30B29/06
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人: 杨慧玲
地址: 300384 天津市滨海新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明提供了一种提高区熔硅单晶用多晶棒料利用率的方法,以A尺寸区熔硅单晶生长过程中在单晶保持过程中发生掉苞后的剩余多晶棒料为原料,在不改变区熔炉内部热场的条件下,根据剩余多晶棒料的剩余量,切换单晶生长工艺参数,继续拉制尺寸小于A尺寸区熔硅单晶的其他尺寸区熔硅单晶。本发明所述的提高区熔硅单晶用多晶棒料利用率的方法在不改变区熔炉内部热场结构的条件下,利用掉苞后的剩余多晶棒料为原料,根据剩余多晶棒料的剩余量,切换到能够拉制的其他尺寸区熔硅单晶的工艺参数,继续拉制其他尺寸区熔硅单晶,避免了下料返工,提高了工时利用率,降低了多晶棒料的损失,提高了多晶棒料的利用率,提高了单晶硅棒的产量。
搜索关键词: 多晶棒 区熔硅单晶 拉制 区熔炉 剩余量 单晶生长工艺 工时利用率 单晶硅棒 热场结构 生长过程 单晶 返工 热场 下料
【主权项】:
1.一种提高区熔硅单晶用多晶棒料利用率的方法,其特征在于:以A尺寸区熔硅单晶生长过程中在单晶保持过程中发生掉苞后的剩余多晶棒料为原料,在不改变区熔炉内部热场的条件下,根据所述剩余多晶棒料的剩余量,切换单晶生长工艺参数,继续拉制尺寸小于所述A尺寸区熔硅单晶的其他尺寸区熔硅单晶。
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