[发明专利]一种背面电流阻挡层的LED芯片及制备方法在审
| 申请号： | 201810666687.0 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN108538980A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈康;刘琦;闫宝华;汤福国;李晓明 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/14 | 分类号： | H01L33/14;H01L33/36 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种背面电流阻挡层的LED芯片及其制备方法，该LED芯片包括外延层，外延层的正面设置有电极，外延层的背面设置有背金，外延层与背金之间设置有背面电流阻挡层，形成自上而下正面电极、外延层、背面阻挡层和背金的结构；其制备方法包括以下步骤：（1）对外延层的背面减薄；（2）在外延层的背面光刻出背面挖洞图形；（3）制备出背面空洞；（4）在整个外延层背面制备绝缘层；（5）对外延层的背面进行二次微减薄，背面空洞区域内的绝缘层作为背面电流阻挡层；（6）在外延层的正面蒸镀金属；（7）制备出正面电极；（8）在外延层的背面蒸镀一层ITO；（9）蒸镀背金；（10）合金。本发明能够有效提高电流扩展，提高LED芯片光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 背面 外延层 制备 电流阻挡层 背金 蒸镀 绝缘层 正面电极 光电转换效率 背面减薄 背面设置 电流扩展 空洞区域 正面设置 阻挡层 电极 光刻 减薄 挖洞 合金 空洞 金属 | ||
【主权项】：
1.一种背面电流阻挡层的LED芯片，包括外延层，外延层的正面设置有电极，其特征是：外延层的背面设置有背金，外延层与背金之间设置有背面电流阻挡层，形成自上而下正面电极、外延层、背面阻挡层和背金的结构。
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