[发明专利]镀覆装置及非暂时性计算机可读存储介质

摘要

本发明提供一种镀覆装置及非暂时性计算机可读存储介质，镀覆装置实现设想今后将需求的高镀覆品质的至少一部分，并且进而对多个基板进行镀覆。镀覆装置具有可保持多个基板的基板固持器、及可保持多个阳极的阳极固持器。多个阳极各自是与对应的基板相向地配置。将调节板设于阳极固持器、与和此阳极固持器对应的基板固持器之间。调节板具有在阳极与基板之间流动的电流能穿过的筒状的贯穿部。针对虚设基板，在阳极固持器、与和此阳极固持器对应的基板固持器之间设有封闭部。封闭部中，可在可保持的阳极与可保持的基板之间流动的电流无法穿过。

主权项

1.一种镀覆装置，其特征在于，包括：多个基板固持器，以各自可保持一个基板的方式构成；多个阳极固持器，以各自可保持一个阳极的方式构成，且所述多个阳极与所述多个基板以一对一而对应，所述多个阳极各自是以与对应的所述基板相向地配置的方式构成；以及多个第一遮蔽部，逐个设于对应的所述阳极与所述基板之间，且所述第一遮蔽部各自是以具有形成于对应的所述阳极与对应的所述基板之间的电力线能穿过的筒状的贯穿部，并且所述贯穿部调整对应的所述阳极与对应的所述基板之间的电场的方式构成。