[发明专利]镀覆装置及非暂时性计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种镀覆装置，其特征在于，包括：

多个基板固持器，以各自可保持一个基板的方式构成；

多个阳极固持器，以各自可保持一个阳极的方式构成，且多个所述阳极与多个所述基板以一对一而对应，多个所述阳极各自是以与对应的所述基板相向地配置的方式构成；以及

多个第一遮蔽部，逐个设于对应的所述阳极与所述基板之间，且所述第一遮蔽部各自是以具有形成于对应的所述阳极与对应的所述基板之间的电力线能穿过的筒状的贯穿部，并且所述贯穿部调整对应的所述阳极与对应的所述基板之间的电场的方式构成，

所述多个第一遮蔽部中的至少一个为封闭部，所述封闭部是以具有用于封闭所述贯穿部的第二遮蔽部，且利用所述第二遮蔽部使形成于可保持的所述阳极与可保持的所述基板之间的所述电力线无法穿过的方式构成，

所述多个第一遮蔽部中的至少另一个不具有所述第二遮蔽部。

2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于：所述第二遮蔽部具备分别配置于所述贯穿部的所述基板固持器侧和所述阳极固持器侧的第三遮蔽部。

3.根据权利要求1或2所述的镀覆装置，其特征在于：可对所述封闭部装卸所述第二遮蔽部。

4.根据权利要求1或2所述镀覆装置，其特征在于：所述第二遮蔽部具有能在所述第二遮蔽部中形成开口部的开口形成机构，在封闭所述贯穿部时，利用所述开口形成机构封闭所述开口部。

5.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于：所述第一遮蔽部具有调整所述贯穿部的开口面积的调整机构，所述调整机构能够封闭所述贯穿部。

6.根据权利要求1或2所述的镀覆装置，其特征在于：设有所述封闭部的所述阳极固持器具有设于所述阳极固持器可保持的所述阳极与所述封闭部之间的第四遮蔽部，所述第四遮蔽部是以形成于所述阳极与所述基板之间的所述电力线无法穿过的方式构成，和/或设有所述封闭部的所述基板固持器具有设于所述基板固持器可保持的所述基板与所述封闭部之间的第五遮蔽部，所述第五遮蔽部是以可在所述阳极与所述基板之间流动的所述电力线无法穿过的方式构成。

7.根据权利要求1或2所述的镀覆装置，其特征在于：所述多个基板固持器一体化，和/或所述多个阳极固持器一体化，和/或所述多个第一遮蔽部一体化。

8.一种镀覆装置，其特征在于，包括：

多个基板固持器，以各自保持一个基板的方式构成；

多个阳极固持器，以各自保持一个阳极的方式构成，且多个所述阳极与多个所述基板以一对一而对应，多个所述阳极各自是以与对应的一个所述基板相向地配置的方式构成；以及

多个遮蔽部，针对所述阳极固持器各自设置一个，且所述遮蔽部各自是以设于对应的所述阳极固持器与所述基板固持器之间，并且具有形成于所述阳极与所述基板之间的电力线能穿过的筒状的贯穿部的方式构成；且

形成所述贯穿部各自的所述遮蔽部的壁部的所述阳极固持器侧是在对应的所述阳极的外周附近配置于所述阳极固持器上，由所述贯穿部各自所形成的贯穿空间彼此分别独立，

所述壁部具有用于将所述贯穿部内的气体从所述贯穿部中去除的第一贯穿孔。

9.根据权利要求8所述的镀覆装置，其特征在于：所述壁部具有用于将镀覆液的添加剂供给于所述贯穿部内的第二贯穿孔。

10.根据权利要求9所述的镀覆装置，其特征在于：具有调整所述添加剂的供给量的供给量调整机构。

11.根据权利要求8或9所述的镀覆装置，其特征在于：所述多个基板固持器一体化，和/或所述多个阳极固持器一体化，和/或所述多个遮蔽部一体化。

12.根据权利要求1或8所述的镀覆装置，其特征在于：从自第一直流电源分支的多根第一布线分别独立地将第一电流供给于多个所述基板各自，和/或从自第二直流电源分支的多根第二布线分别独立地将第二电流供给于多个所述阳极各自。