[发明专利]一种半导体二极管的生产方法

摘要

本发明属于二极管生产技术领域，具体的说是一种半导体二极管的生产方法，该方法采用酸洗装置，酸洗装置包括筒体、气冷模块、水冷模块、尾气处理箱和气压升降模块；所述水冷模块包括第一电机、齿轮轴、环形板、齿条和螺旋管；所述气冷模块包括一号空心转轴、一号转动盘、转动单元、二号空心转轴、一号管和喷头；酸洗装置主要通过对酸洗过程中产生的温度进行冷却，而使汽化的酸洗液液化；一方面，通过旋转的螺旋管对筒体外壁进行冷却；另一方面，通过一号转动板、扭簧和凸轮间的相互配合，使得气体均匀的聚集并对挥发的酸洗液冷却；从而提高了二极管的酸洗效率和效果。

主权项

1.一种半导体二极管的生产方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：步骤一：将晶圆通过涂膜、光刻显影、蚀刻、搀加杂质等操作后制成芯片；步骤二：将步骤一中制成的芯片进行芯片的测试；步骤三：将步骤二中测试后的芯片与引线框架进行组装；步骤四：将步骤三中组装后的芯片放入到烧结装置中进行烧结；步骤五：将步骤四中烧结后的二极管放入到酸洗装置中进行酸洗；步骤六：将步骤五中酸洗后的二极管放入到下一工序中进行；其中，酸洗装置包括筒体(1)、气冷模块(2)、水冷模块(3)、尾气处理箱(4)和气压升降模块(5)；所述气压升降模块包括上底板(51)、下底板(52)、气压缸(53)和一号滑动伸缩杆(54)；所述上底板(51)通过气压缸(53)与下底板(52)固定连接，所述一号滑动伸缩杆(54)一端与上底板(51)固定连接，一号滑动伸缩杆(54)另一端与下底板(52)固定连接；所述筒体(1)通过一号固定杆(55)与上底板(51)顶部固定连接；筒体(1)通过一号固定板(56)放置在下底板(52)上；所述水冷模块(3)环绕在筒体(1)外壁上，所述气冷模块(2)安装在筒体(1)内部；所述筒体(1)底部固定安装酸洗箱(6)；筒体(1)顶部中心位置处开设有一号进气口(11)，筒体(1)侧壁设有开合门(12)；筒体(1)底部开设有一号出气口(13)，筒体(1)通过软管(14)与尾气处理箱(4)固定连接；所述尾气处理箱(4)固定安装在下底板(52)上。