[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、显示面板和显示装置

摘要

本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板和显示装置，涉及显示技术领域，可以减小薄膜晶体管的结构缺陷密度，从而提高薄膜晶体管的电学特性。该薄膜晶体管包括：有源层，有源层包括第一半导体层和第二半导体层，第一半导体层包括多个相互间隔的第一岛状结构，第二半导体层覆盖第一半导体层以及多个第一岛状结构之间的间隙；第一绝缘层，栅极，第二绝缘层，源极和漏极，源极通过第一绝缘层和第二绝缘层上的源极过孔连接于有源层，漏极通过第一绝缘层和第二绝缘层上的漏极过孔连接于有源层。

主权项

1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：有源层，所述有源层包括第一半导体层和第二半导体层，所述第一半导体层包括多个相互间隔的第一岛状结构，所述第二半导体层覆盖所述第一半导体层以及多个所述第一岛状结构之间的间隙；第一绝缘层，所述第一绝缘层位于所述第二半导体层远离所述第一半导体层的一侧；栅极，所述栅极位于所述第一绝缘层远离所述第二半导体层的一侧；第二绝缘层，所述第二绝缘层位于所述栅极远离所述第一绝缘层的一侧；源极和漏极，所述源极和漏极位于所述第二绝缘层远离所述有源层的一侧，所述源极通过所述第一绝缘层和所述第二绝缘层上的源极过孔连接于所述有源层，所述漏极通过所述第一绝缘层和所述第二绝缘层上的漏极过孔连接于所述有源层。