[发明专利]半导体结构及产生半导体装置的布局图的方法有效
申请号: | 201810468626.3 | 申请日: | 2018-05-16 |
公开(公告)号: | CN108962888B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 陈郁仁;王琳松;黄一珊;洪展羽 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L29/423 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: |
一种半导体结构,包括:第一和第二主动区域,第一和第二主动区域设置于沿着一第一方向取向的一第一栅格中;以及多个栅极电极,栅极电极间隔布置于一第二栅格中,并位于对应的第一和第二主动区域上,第二栅格沿着一第二方向取向,第二方向实质上垂直于第一方向;其中:第一和第二主动区域相对于第二方向被一间隙所分开;各栅极电极包括一第一段和一栅极延伸;各栅极延伸相对于第二方向延伸超过对应的主动区域,并以高度H |
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搜索关键词: | 半导体 结构 产生 装置 布局 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体结构,其特征在于,包括:第一和第二主动区域,该第一和第二主动区域设置于沿着一第一方向取向的一第一栅格中;以及多个栅极电极,所述多个栅极电极间隔布置于一第二栅格中,并位于对应的该第一和第二主动区域上,该第二栅格沿着一第二方向取向,该第二方向实质上垂直于该第一方向;其中:该第一和第二主动区域相对于该第二方向被一间隙所分开;各该栅极电极包括一第一段和一栅极延伸;各该栅极延伸相对于该第二方向延伸超过对应的该主动区域,并以高度HEXT进入该间隙,其中HEXT≤(≈150nm);以及各该栅极延伸相对于由该第一和第二方向所界定的一平面为实质上矩形。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的