[发明专利]半导体结构及产生半导体装置的布局图的方法有效

专利信息
申请号: 201810468626.3 申请日: 2018-05-16
公开(公告)号: CN108962888B 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 陈郁仁;王琳松;黄一珊;洪展羽 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/423
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种半导体结构,包括:第一和第二主动区域,第一和第二主动区域设置于沿着一第一方向取向的一第一栅格中;以及多个栅极电极,栅极电极间隔布置于一第二栅格中,并位于对应的第一和第二主动区域上,第二栅格沿着一第二方向取向,第二方向实质上垂直于第一方向;其中:第一和第二主动区域相对于第二方向被一间隙所分开;各栅极电极包括一第一段和一栅极延伸;各栅极延伸相对于第二方向延伸超过对应的主动区域,并以高度HEXT进入间隙,其中HEXT≤(≈150nm);以及各栅极延伸相对于由第一和第二方向所界定的一平面为实质上矩形。在一实施例中,高度HEXT为HEXT≤(≈100nm)。
搜索关键词: 半导体 结构 产生 装置 布局 方法
【主权项】:
1.一种半导体结构,其特征在于,包括:第一和第二主动区域,该第一和第二主动区域设置于沿着一第一方向取向的一第一栅格中;以及多个栅极电极,所述多个栅极电极间隔布置于一第二栅格中,并位于对应的该第一和第二主动区域上,该第二栅格沿着一第二方向取向,该第二方向实质上垂直于该第一方向;其中:该第一和第二主动区域相对于该第二方向被一间隙所分开;各该栅极电极包括一第一段和一栅极延伸;各该栅极延伸相对于该第二方向延伸超过对应的该主动区域,并以高度HEXT进入该间隙,其中HEXT≤(≈150nm);以及各该栅极延伸相对于由该第一和第二方向所界定的一平面为实质上矩形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810468626.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top