[发明专利]一种散热芯片的固体焊接工艺有效
申请号: | 201810439165.7 | 申请日: | 2018-05-09 |
公开(公告)号: | CN108581168B | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 王宏全 | 申请(专利权)人: | 西安君信电子科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H05K3/34;B23K20/02 |
代理公司: | 西安毅联专利代理有限公司 61225 | 代理人: | 高美化 |
地址: | 710000 陕西省西安市国家民*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种散热芯片的固体焊接工艺,包括以下步骤:1)选取与芯片本体匹配的第一散热装置;2)散热芯片的装配:所述芯片本体和第一散热装置同时放置于热等静压机的密封舱内,对密封舱进行抽真空操作;经抽真空后在密封舱内注入惰性气体,采用热等静压工艺将芯片本体与第一散热装置固相连接;所述热等静压工艺中,加热温度为第一散热装置熔点温度的0.3~0.8倍。本发明的固体焊接工艺,制备出的散热芯片,散热性能好,空洞率低,整体使用性能高。 | ||
搜索关键词: | 一种 散热 芯片 固体 焊接 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种散热芯片的固体焊接工艺,其特征在于,包括以下步骤:选取与芯片本体(1)匹配的第一散热装置;散热芯片的装配:所述芯片本体(1)和第一散热装置同时放置于热等静压机的密封舱内,对密封舱进行抽真空操作;经抽真空后在密封舱内注入惰性气体,采用热等静压工艺将芯片本体(1)与第一散热装置固相连接,得到散热芯片;所述热等静压工艺中,加热温度为第一散热装置熔点温度的0.3倍~0.8倍。
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