[发明专利]一种热界面材料及其制备方法、应用方法有效
| 申请号： | 201810254151.8 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108511407B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 杨诚;罗盈盈;吴铛 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 余敏 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热界面材料及其制备方法、应用方法。一种热界面材料的制备方法包括以下步骤：S1，选择泡沫金属材料作为基底；S2，对所述基底进行表面清洁处理；S3，在步骤S2所得的基底的上表面和下表面均负载上低熔点金属和/或合金，制得具有三明治结构的泡沫金属材料，作为热界面材料。本发明制得的热界面材料具有较高热导率，且可适用于半导体功率器件的散热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 界面 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种热界面材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1，选择泡沫金属材料作为基底；S2，对所述基底进行表面清洁处理；S3，在步骤S2所得的基底的上表面和下表面均负载上低熔点金属和/或合金，制得具有三明治结构的泡沫金属材料，作为热界面材料。
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