[发明专利]一种具有多孔介质层的金属互连结构有效
| 申请号： | 201810166456.3 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108376676B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 赵红英 | 申请（专利权）人： | 南京溧水高新创业投资管理有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L21/768;H01L21/311 |
| 代理公司： | 广州海藻专利代理事务所(普通合伙) 44386 | 代理人： | 张大保 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有多孔介质层的金属互连结构，其包括有在多孔介质层中具有通孔结构，通孔的边缘部分低于下层介质层中的互连线的上表面，在下层介质层中的互连线周围形成有第一凹槽结构，多孔介质层中的通孔结构采用飞秒激光刻蚀形成，在刻蚀过程中使所述多孔介质层中暴露的孔结构的局部熔化使暴露的所述孔结构密封；在通孔结构内具有金属互连结构，金属互连结构与所述互连线上表面以及部分侧表面接触；金属互连结构上方具有封盖层，封盖层具有位于金属互连结构的顶表面的部分和位于顶表面以下的位于顶表面周围的第二凹槽结构中的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多孔 介质 金属 互连 结构 | ||
【主权项】：
1.一种具有多孔介质层的金属互连结构，其特征在于，包括以下结构：位于下层介质层中的互连线结构；位于所述下方介质层上的富含氮的蚀刻终止检测层；位于所述富含氮的蚀刻终止检测层上的多孔介质层；在所述多孔介质层中具有通孔结构，所述通孔向下延伸到所述互连线上方，所述通孔的边缘部分低于所述互连线的上表面，在下层介质层中的互连线周围形成有第一凹槽结构，所述多孔介质层中的通孔结构采用飞秒激光刻蚀形成，在刻蚀过程中使所述多孔介质层中暴露的孔结构的局部熔化使暴露的所述孔结构密封；在所述通孔结构内具有金属互连结构，所述金属互连结构与所述互连线上表面以及部分侧表面接触，并且金属互连结构包括有位于所述第一凹槽结构中的部分；所述金属互连结构上方具有封盖层，所述封盖层具有位于所述金属互连结构的顶表面的部分和位于所述顶表面以下的位于所述顶表面周围的第二凹槽结构中的部分。
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