[发明专利]一种硅微谐振式加速度计在审
| 申请号： | 201810095264.8 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108490216A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 段晓敏;周骏 | 申请（专利权）人： | 嘉兴市纳杰微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 项军 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种硅微谐振式加速度计，微机械杠杆机构的力臂远离锚体的一端固定在质量块上，谐振器的运动部件与力臂连接，并由力臂带动产生位移，谐振器关于质量块的中线对称设置，相互对称的两个谐振器的运动部件在受力后位移方向相反，谐振器关于质量块的中线对称设置，使得两个谐振器工作模态的谐振频率相等，两个谐振器分布在质量块的两端可以大大减小谐振结构的互扰，减小加速度计的噪声水平，并且，由于谐振器位于质量块的两端，可大大减小由于质量块加工不对称引起谐振结构的不对称振动，因此，大大降低了因工艺误差、温度变化与环境振动引起的漂移，从而从结构上有效的抑制了环境因素的干扰，有效提高了加速度计的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 质量块 减小 力臂 硅微谐振式加速度计 加速度计 谐振结构 运动部件 中线对称 不对称 漂移 方向相反 杠杆机构 工艺误差 工作模态 环境因素 环境振动 谐振频率 噪声水平 灵敏度 微机械 互扰 锚体 受力 相等 对称 加工 | ||
【主权项】：
1.一种硅微谐振式加速度计，包括基底、活动连接在基底上的质量块(1)、谐振器(2)和微机械杠杆机构(3)，其特征在于：所述微机械杠杆机构(3)包括键合于所述基底上的锚体(4)和转动连接在所述锚体(4)上的力臂(5)，所述力臂(5)远离所述锚体(4)的一端固定在所述质量块(1)上，所述谐振器(2)包括运动部件(6)，每个运动部件(6)由独立的力臂(5)带动并产生位移，由力臂(5)带动的运动部件(6)位于定位该力臂(5)的锚体(4)与所述质量块(1)之间，所述谐振器(2)关于所述质量块(1)的中线对称设置，并且，相互对称的两个谐振器(2)的运动部件(6)在受力后位移方向相反。
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