[发明专利]具有带有主延伸平面的衬底的用于探测转速的转速传感器有效
| 申请号： | 201480026951.4 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN105324634B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | R·毛尔;B·库尔曼;M·哈塔斯;R·阿梅林;B·施密特;R·舍本;T·巴尔斯林科 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5747 | 分类号： | G01C19/5747 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出具有衬底的用于探测转速的转速传感器，包括初级振动质量块对和次级振动质量块对，初级振动质量块对具有第一初级质量块和第二初级质量块，次级振动质量块对具有第一次级质量块和第二次级质量块，第一初级质量块和第二初级质量块朝向彼此沿着初级偏转方向相对于衬底运动，第一次级质量块和第二次级质量块沿着次级偏转方向相对于衬底运动，第一和第二初级质量块及第一和第二次级质量块反平行地或彼此平行地根据相应的偏转方向运动，其中，主偏转方向垂直于次级偏转方向延伸，初级振动质量块对和/或次级振动质量块对被驱动，使得转速传感器旋转时科里奥利力引起第一初级质量块和第二初级质量块和/或第一次级质量块和第二次级质量块的偏转。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 带有 延伸 平面 衬底 用于 探测 转速 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有衬底(1)的用于探测转速的转速传感器(100)，所述衬底(1)具有主延伸平面，其中，所述转速在或者平行于所述主延伸平面或者垂直于所述主延伸平面延伸的方向，其中，所述转速传感器(100)包括初级振动质量块对(11，12)和次级振动质量块对(21，22)，其中所述初级振动质量块对具有第一初级质量块(11)和第二初级质量块(12)所述次级振动质量块对具有第一次级质量块(21)和第二次级质量块(22)，其中，所述第一初级质量块(11)和所述第二初级质量块(12)能够分别平行于初级偏转方向(P)相对于所述衬底运动，所述初级偏转方向平行于所述转速传感器的主延伸平面延伸，所述第一次级质量块(21)和所述第二次级质量块(22)能够分别平行于次级偏转方向(S)相对于所述衬底(1)运动，所述次级偏转方向平行于所述转速传感器(100)的主延伸平面延伸，其中，所述第一初级质量块(11)和所述第二初级质量块(12)通过耦合元件(30)彼此连接并且所述第一次级质量块(21)和所述第二次级质量块(22)与所述耦合元件(30)耦合，其中，一方面所述第一初级质量块(11)和所述第二初级质量块(12)、另一方面所述第一次级质量块(21)和所述第二次级质量块(22)能够或者彼此反平行地或者彼此平行地根据相应的偏转方向运动，其特征在于，所述初级偏转方向(P)基本上垂直于所述次级偏转方向(S)延伸，其中，所述初级振动质量块对(11，12)和/或所述次级振动质量块对(21，22)能够如此驱动，使得在所述转速传感器的旋转时科里奥利力引起所述第一初级质量块(11)和所述第二初级质量块(12)和/或所述第一次级质量块(21)和所述第二次级质量块(22)的偏转，其中，在平行于所述主延伸平面的平面中所述初级振动质量块对(11，12)包围所述次级振动质量块对(21，22)。
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