[发明专利]一种硅微谐振式加速度计

权利要求书

1.一种硅微谐振式加速度计，包括基底、活动连接在基底上的质量块(1)、谐振器(2)和微机械杠杆机构(3)，其特征在于：所述微机械杠杆机构(3)包括键合于所述基底上的锚体(4)和转动连接在所述锚体(4)上的力臂(5)，所述力臂(5)远离所述锚体(4)的一端固定在所述质量块(1)上，所述谐振器(2)包括运动部件(6)，每个运动部件(6)由独立的力臂(5)带动并产生位移，由力臂(5)带动的运动部件(6)位于定位该力臂(5)的锚体(4)与所述质量块(1)之间，所述谐振器(2)关于所述质量块(1)的中线对称设置，并且，相互对称的两个谐振器(2)的运动部件(6)在受力后位移方向相反。

2.根据权利要求1所述的一种硅微谐振式加速度计，其特征在于：所述质量块(1)的形状为长方体，所述力臂(5)的长度不小于所述质量块(1)的长度。

3.根据权利要求2所述的一种硅微谐振式加速度计，其特征在于：所述谐振器(2)有两个，两个谐振器(2)沿质量块(1)的长度方向布置并且分别位于所述质量块(1)的两端，两个微机械杠杆机构(3)沿所述质量块(1)的宽度方向布置并且分别位于所述质量块(1)的两侧。

4.根据权利要求3所述的一种硅微谐振式加速度计，其特征在于：所述力臂(5)与所述质量块(1)连接的位置位于所述质量块(1)的顶面的相对两个顶点上。

5.根据权利要求1所述的一种硅微谐振式加速度计，其特征在于：在所述质量块(1)没有受到外界作用力时，设定一个多边形平面，所有锚体(4)分别位于该多边形平面的顶点上，该多边形平面的中心与所述质量块(1)的中心重合。

6.根据权利要求1所述的一种硅微谐振式加速度计，其特征在于：所述质量块(1)通过微机械杠杆机构(3)固定于所述基底上。

7.根据权利要求1所述的一种硅微谐振式加速度计，其特征在于：所述运动部件(6)通过中间杆(7)固定在所述力臂(5)上。

8.根据权利要求7所述的一种硅微谐振式加速度计，其特征在于：所述力臂(5)、所述中间杆(7)与所述运动部件(6)为一体式结构。