[发明专利]有机发光二极管器件的制作系统在审
| 申请号： | 201810090616.0 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108321310A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 吴疆 | 申请（专利权）人： | 上海瀚莅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) 32278 | 代理人： | 尹丽 |
| 地址： | 202150 上海市崇明区横沙乡富民*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种有机发光二极管器件的制作系统，其包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送。所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°，从而达成翻转基板的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 传输腔室 制作系统 有机发光二极管器件 机械手 中间腔室 翻转 传输腔 室内 工艺腔室 静电吸附 可旋转的 可操作 中间腔 传送 回归 | ||
【主权项】：
1.一种有机发光二极管器件的制作系统，包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送，其特征在于：所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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