[发明专利]有机发光二极管器件的制作系统

说明书

本发明提供了一种有机发光二极管器件的制作系统，其包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送。所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°，从而达成翻转基板的功效。

技术领域

本发明涉及一种有机发光二极管器件的制作系统。

背景技术

有机发光二极管(OLED)器件在制作过程中，会涉及到蒸镀和封装两个工段，但这两个工段对基板方向要求不同，蒸镀工段要求基板朝向向下，封装工段要求基板朝向向上，这就要求从蒸镀段进入封装段必须要有一个基板翻转的环节。

如图1所示，目前将基板100进行翻转的处理方法是：在蒸镀段或封装段设置一个翻转腔室200，以在翻转腔室200内完成基板100的翻转动作。但是，利用翻转腔室200将基板100进行翻转的方式会使生产节拍延长，并且翻转腔室200会占用一个工艺腔室300的位置，提高了生产设备成本。

有鉴于此，确有必要对现有OLED器件的制作系统进行改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种有机发光二极管器件的制作系统，该制作系统可在传送基板的同时翻转基板，从而省略了进入翻转腔室的环节。

为实现上述目的，本发明提供了一种有机发光二极管器件的制作系统，其包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送，所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°。

作为本发明的进一步改进，所述传输腔室包括相对设置的顶壁和底壁以及相对设置的左右两侧壁，所述顶壁与底壁之间的距离以及左右两侧壁之间的距离均大于所述基板的长度，以方便所述基板在所述传输腔室内翻转180°。

作为本发明的进一步改进，所述传输腔室呈六边形设置，所述传输腔室的相对设置的两边分别连接一个所述中间腔室，所述传输腔室的另外四边分别与四个工艺腔室相连。

作为本发明的进一步改进，所述机械手可操作以在所述中间腔室与所述传输腔室之间及所述工艺腔室与所述传输腔室之间传输所述基板，所述机械手包括活动臂和固定臂，所述基板静电吸附在所述固定臂上。

作为本发明的进一步改进，所述固定臂的末端设有静电吸附盘，以静电吸附所述基板。

作为本发明的进一步改进，所述机械手设置在所述传输腔室的中心位置处，所述活动臂包括活动式连接的第一活动臂和第二活动臂，所述固定臂与所述第二活动臂的末端相连，以在伸缩所述活动臂时带动所述固定臂进入或退出所述中间腔室和所述工艺腔室。

作为本发明的进一步改进，定义所述传输腔室的中心位置为所述机械手的原点位，当所述基板位于所述中间腔室时，定义所述固定臂与第二活动臂的连接点所处位置为工作点位，所述固定臂与第二活动臂的连接点自工作点位朝向原点位移动，并在到达原点位后，所述机械手带动所述基板旋转180°。

作为本发明的进一步改进，所述固定臂与第二活动臂的连接点自工作点位朝向原点位移动时，所述固定臂和基板只在水平方向上发生位移。

作为本发明的进一步改进，当所述固定臂与第二活动臂的连接点位于工作点位时，所述活动臂整体呈V字型，当所述固定臂与第二活动臂的连接点位于原点位时，所述活动臂整体呈一字型并与所述固定臂垂直。

作为本发明的进一步改进，所述机械手可360°旋转。