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[实用新型]一种防打滑静电吸附箱-CN202222955849.7有效
发明人：陈伟建;王余;姜伟;陈泽谦 -专利权人：晶科能源（义乌）有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B03C3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防打滑静电吸附箱，包括吸附箱主体，还包括静电吸附组件和防打滑组件，吸附箱主体内两侧对称设置有用于吸附箱主体静电去尘的静电吸附组件，所述静电吸附组件包括支撑座、静电吸附网、静电吸附器、电机和风扇，所述吸附箱主体内通过螺纹可拆卸安装有支撑座，所述支撑座顶部一端插接有静电吸附网，所述静电吸附网设置有两组且两组静电吸附网之间安装有静电吸附器，所述支撑座另一端安装有电机，所述电机的动力输出端与风扇的动力输入端相连本实用新型通过静电吸附组件，解决了通过静电吸附，消除吸附箱内游离杂质，加快杂质去除的效率，通过防打滑组件，防止吸附箱主体因为打滑而移动，影响吸附箱主体的移动。
一种打滑静电吸附

[发明专利]静电吸附承载装置及半导体设备-CN202110157888.X在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：北京中硅泰克精密技术有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸附承载装置及半导体设备，其中，静电吸附承载装置用于在半导体设备的工艺腔室中承载并吸附待加工工件，包括第一静电吸附承载组件和第二静电吸附承载组件，第一静电吸附承载组件能够设置在工艺腔室中，用于承载并吸附第二静电吸附承载组件；第二静电吸附承载组件能够与第一静电吸附承载组件分离，或承载于第一静电吸附承载组件上并与第一静电吸附承载组件相吸附，第二静电吸附承载组件用于承载并吸附待加工工件。本发明提供的静电吸附承载装置及半导体设备能够避免待加工工件在半导体工艺中移动，并提高向待加工工件的导热能力，提高对待加工工件的控温能力，从而提高半导体工艺结果。
静电吸附承载装置半导体设备

[实用新型]一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘-CN202223439407.3有效
发明人：陈高龙;奉洛阳;廖林 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，包括基座，设有容纳槽和贴合面；静电吸附件,可移动设于容纳槽内用于对面板进行静电吸附；驱动机构，设置于基座上且与静电吸附件连接用于驱动静电吸附件在容纳槽内移动；控制器，与驱动机构和静电吸附件分别电连接，用于控制驱动机构运动及使静电吸附件产生静电吸附力；其中，静电吸附件至少设有两个,驱动机构数量与静电吸附件相同且与静电吸附件一一对应，静电吸附件设有吸附面，在驱动机构驱动下，吸附面具有凸出贴合面的第一状态和与贴合面平顺形成完整曲面的第二状态。本申请的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，以在真空环境下实现大尺寸面板的平整吸附。
一种应用于尺寸面板吸附静电吸盘

[发明专利]一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统-CN202110591882.3在审
发明人：裴江涛;张辉 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电吸附装置及其所在的基片处理系统，所述静电吸附装置包括装置本体以及位于装置本体内的静电产生模块与静电控制模块；所述静电产生模块用于产生静电，所述静电控制模块用于控制所述静电产生模块是否产生静电以及所产生静电的大小；所述静电吸附装置的底部设置有绝缘部件。本发明的静电吸附装置可产生静电真空反应腔内的吸附边缘环或颗粒物，实现在不打开真空反应腔的情况下更换受损耗的边缘环或移除真空反应腔内的颗粒物。此外，静电吸附装置底部的绝缘部件，可以提高静电吸附装置吸附边缘环时的静电吸附力，从而减小了静电吸附装置的运行成本。
一种静电吸附装置及其所在处理系统

[实用新型]一种喷熔布加工用静电吸附机构-CN202021852550.3有效
发明人：孙瑜;孙一帆;陈玲;周芳芳 -专利权人：阳光卫生医疗科技江阴有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： D06G1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种喷熔布加工用静电吸附机构，包括一侧具有开口的吸附罩、两端部分别转动设置于所述吸附罩两端的静电吸附辊、固定设置于所述吸附罩两端之间的若干静电吸附丝，所述静电吸附丝平行于所述静电吸附辊的轴心线，所述静电吸附丝位于所述静电吸附辊的上方，所述吸附罩的另一侧开设有布料出口，所述吸附罩上设置有用于清理所述静电吸附丝的第一清理机构，所述吸附罩上设置有用于清理所述静电吸附辊的第二清理机构，所述第二清理机构位于所述静电吸附辊的下方
一种喷熔布加工用静电吸附机构

[实用新型]一种安全型静电吸附系统-CN201921352308.7有效
发明人：丁威;奉洛阳;陈高龙;杨杰;廖林 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01R29/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种安全型静电吸附系统，包括静电发生器和静电吸附组件，该静电吸附组件包括至少一组正极片和负极片；所述正极片和负极片均与静电发生器电连接，所述正极片和负极片之间连接有用于检测静电场的静电检测装置，该静电检测装置包括基座和受静电场作用时可在基座内转动的指针。本实用新型通过将静电检测装置与静电吸附组件电连接，即在静电检测装置上通过指针在场强指示区内的转动情况远程监控静电吸附组件中是否具有足够大的吸附力，以避免静电吸附系统的静电吸附力突然变小时操作者依然使用该静电吸附组件
一种安全静电吸附系统

[实用新型]静电吸附盘安装工具-CN201120571423.0有效
发明人：辛笛;李文;张绪彪;袁成宝 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种静电吸附盘安装工具，所述静电吸附盘通过若干螺钉安装于底座上，所述静电吸附盘上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔，所述静电吸附盘安装工具包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本体对应所述静电吸附盘上的螺钉孔设有相应的通孔，所述通孔的直径大于相应螺钉的螺帽的外径。在拆装静电吸附盘时，可以先将该圆盘状本体盖在所述静电吸附盘上，因此，在用螺丝刀松开或者拧紧静电吸附盘上的螺钉的过程中，圆盘状本体盖始终阻隔螺丝刀碰触静电吸附盘，从而在静电吸附盘的更换过程中起到保护静电吸附盘的作用
静电吸附安装工具

[发明专利]基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法及系统-CN202111364484.4在审
发明人：谷国迎;闫沛楠;邹江 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法及系统，包括：获取静电吸附设备的静电吸附电压，向静电吸附设备施加与静电吸附电压极性相反的电压，抵消静电吸附设备的残余电荷；向静电吸附设备重复加载电压抵消静电吸附设备上新生残余电荷本发明申请的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，由于输入电压的极性变化，可实现静电吸附的快速释放，输入电压的可编程特性提供了丰富的可用波形以及参数选择，由于采用输入电压控制的方法，因此不附加任何外部机械装置，提升了静电吸附的应用潜力。
基于可编程输入电压静电吸附快速释放方法系统

[实用新型]一种用于纸箱的RFID标签-CN202022040271.3有效
发明人：王强 -专利权人：广州铂高标识技术有限公司
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G09F3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于纸箱的RFID标签，包括第一静电吸附膜，所述第一静电吸附膜的底面设有第二静电吸附膜，所述第一静电吸附膜和第二静电吸附膜之间均匀设有标签本体，所述标签本体与第二静电吸附膜之间设有隔离片本实用新型中，为了便于自动化粘贴RFID标签，故将标签本体置于第一静电吸附膜和第二静电吸附膜之间，首先将标签本体放置在隔离片上，再将标签本体和隔离片同时放置在第二静电吸附膜的顶面，通过膜之间的张力作用，将标签本体及隔离片置于第一静电吸附膜和第二静电吸附膜之间，并完成标签本体的放置和收卷，先将第二静电吸附膜在标签本体粘贴前去除，由于不粘层的存在，使得隔离片与标签本体之间的吸附作用较小。
一种用于纸箱 rfid 标签

[发明专利]一种硅片丝网印刷用吸附组件-CN202310585443.0在审
发明人：丰平;陈实 -专利权人：江苏龙恒新能源有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B41F15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片丝网印刷用吸附组件，关于硅片生产技术领域，包括壳体，壳体内设置有支腿，所述支腿的上端设置有传送组件，硅片丝网印刷用吸附组件还包括静电吸附组件、摩擦块、静电检测系统、静电去除组件，传送组件的上端还设置有与静电吸附组件相匹配的静电吸附板，摩擦块与静电吸附板相匹配，摩擦块位于传送组件的下端，静电检测系统用于检测硅片表面静电的大小，静电检测系统还包括静电补偿系统，静电补偿系统用于对硅片的表面静电大小进行补偿，静电去除组件设置在传送组件远离静电吸附组件的一端，用于消除硅片上的静电。与现有技术相比，根据本发明的一种硅片丝网印刷用吸附组件能够避免负压吸附对硅片上的浆料造成影响的情况。
一种硅片丝网印刷吸附组件

[实用新型]一种静电除尘吸附设备-CN202120790157.4有效
发明人：张康宁;董嘉成;马玉霞;陈倩;田庆爱;于浩然;李保民;杜知微 -专利权人：青岛理工大学
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B03C3/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种静电除尘吸附设备，它属于家用除尘设备领域，包括把手和固定在把手端部的吸附头，所述吸附头包括外壳，所述外壳底部设有吸附口；所述外壳内设有吸附腔、过渡腔和收集腔，所述吸附腔内设有静电吸附辊，所述静电吸附辊的辊面突出于吸附口，所述过渡腔设置在吸附腔的斜上方，所述过渡腔上远离所述吸附腔的侧壁上设有静电吸附板，所述静电吸附辊的局部辊面在转动到过渡腔对面位置时失去静电吸附效果，所述静电吸附辊的局部辊面在远离过渡腔对面位置时重新恢复静电吸附效果
一种静电除尘吸附设备

[实用新型]一种新型静电除霾机-CN202122108370.5有效
发明人：刘进克 -专利权人：河北潇腾环保工程有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B03C3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型静电除霾机，属于静电除霾机技术领域，它包括机体，机体内四周对应设置静电除尘装置，静电除尘装置外部对应连接有进风口，机体顶部设有风扇组件，静电除尘装置包括过滤区、高压静电区及静电吸附区，过滤区、高压静电区及静电吸附区组成若干组并依次放置于放置架上；过滤区为除尘板，高压静电区包括负极吸附板、若干横杆，横杆设于负极吸附板后方且横杆上分布有若干尖头状物用以放置静电极；静电吸附区包括静电吸附板本实用新型通过在机体四周设置静电除尘装置，空气由进风口进入后经过静电除尘装置将灰尘吸附除霾，新鲜空气由风扇组件排出，采用静电除霾，除尘除霾效果佳、静电吸附板可随时拆卸、便于清洗、更换。
一种新型静电

[发明专利]一种生产车间储存设备-CN202211209294.X在审
发明人：王安琪 -专利权人：南通支云纺织工艺品有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B25H3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产车间储存设备，涉及车间储存技术领域，包括存储架组合体和纺织品，所述存储架组合体由多个存储单元组成，单个存储单元包括框架；该框架的中部转动安装有静电辊；以及静电吸附板；该静电吸附板起到对纺织品的毛絮收集的作用；当静电辊转动时可将纺织品掉落的毛絮转至框架下方的静电吸附板上；当纺织品放在框架上时，其表面脱落的毛絮可以被静电辊吸附，然后转动静电辊，使毛絮在重力和静电的作用下吸附在静电吸附板上。本发明通过设置框架、静电吸附板和静电辊，从而当纺织品放在框架上时，其表面脱落的毛絮可以被静电辊吸附，然后转动静电辊，使毛絮在重力和静电的作用下吸附在静电吸附板上，从而达到对毛絮收集的效果。
一种生产车间储存设备

[发明专利]静电卡盘装置及晶片或托盘的固定方法-CN201410421884.8有效
发明人：李玉站 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-08-25 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电卡盘装置及晶片或托盘的固定方法，所述静电卡盘装置包括绝缘本体、卡盘本体、供电电源、多个第一静电吸附电极与多个第二静电吸附电极，绝缘本体设置在卡盘本体上；所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极埋设在所述绝缘本体的内部；所述供电电源直流电压输出端与所述第一静电吸附电极、所述第二静电吸附电极电连接；所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极上加载的直流电压的极性相反，所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极交替相邻并彼此电绝缘，本发明的静电卡盘装置能有效固定晶片，特别是高绝缘电介质晶片；晶片或托盘的固定方法保证了各种类型的晶片或托盘可靠固定，不会发生“跳片”现象。
静电吸附电极静电卡盘装置托盘晶片绝缘本体供电电源卡盘本体直流电压输出端电介质晶片固定晶片极性相反可靠固定直流电压电绝缘电连接高绝缘加载跳片保证

[发明专利]一种含高压静电吸附总成的气体处理设备与工艺-CN201710574662.3有效
发明人：侯梦斌 -专利权人：侯梦斌
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： B03C3/017 文献下载
摘要：本发明涉及一种含高压静电吸附总成的气体处理设备与工艺。一种含高压静电吸附总成的气体处理设备由箱体，高压静电吸附总成，高压静电电源，喷淋头，泡沫玄武岩滤层构成；烟气中杂质先被泡沫玄武岩滤层吸附，再被高压静电吸附总成的静电场吸附，定时打开喷淋头向高压静电吸附总成喷淋，洗涤高压静电吸附总成的高压电极板与共地电极板，洗涤液也湿润泡沫玄武岩滤层。
高压静电吸附玄武岩气体处理设备滤层喷淋头高压静电电源高压电极板静电场吸附地电极板洗涤液喷淋吸附烟气洗涤湿润

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