[发明专利]调度器、基板处理装置以及基板搬运方法有效
| 申请号： | 201810040900.7 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108335997B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 野野部宏司;三谷隆;小泉龙也;大石邦夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种调度器，内装于具备进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、对所述搬运部与所述基板处理部进行控制的控制部的基板处理装置的所述控制部，并计算基板搬运行程表，该调度器具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。该调度器能够削减用于基板搬运行程表的计算量以及计算时间。 | ||
| 搜索关键词： | 调度 处理 装置 以及 搬运 方法 | ||
【主权项】：
1.一种调度器，内装于基板处理装置的控制部，该基板处理装置具备：进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、以及对所述搬运部和所述基板处理部进行控制的所述控制部，所述调度器计算基板搬运行程表，所述调度器的特征在于，具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将所述基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于所述最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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