[发明专利]调度器、基板处理装置以及基板搬运方法

说明书

一种调度器，内装于具备进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、对所述搬运部与所述基板处理部进行控制的控制部的基板处理装置的所述控制部，并计算基板搬运行程表，该调度器具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。该调度器能够削减用于基板搬运行程表的计算量以及计算时间。

技术领域

本发明涉及一种调度器、基板处理装置以及基板搬运方法。

背景技术

在基板处理装置中存在各种构成的装置。例如一般已知一种基板处理装置，具有收容多个基板的基板收纳容器、多个搬运器、多个处理部。在该基板处理装置中，多个基板被从基板收纳容器依次投入到装置内，通过多个搬运器而在多个处理部间被搬运，从而被并列地处理，处理后的基板被回收到基板收纳容器。另外，也已知一种基板处理装置，具有多个基板收纳容器且能够对它们进行交换。在这样的基板处理装置中，将装填有处理完成的基板的基板收纳容器与装填有未处理的基板的基板收纳容器进行适当地交换，从而能够连续地进行基板处理装置的运转。

作为上述基板处理装置的一例，例如，已知一种进行突块形成、TSV形成以及再配线镀覆的镀覆处理装置。在这样的基板处理装置中，有一边满足严格的工艺制约条件(从开始某一工艺到开始下一工艺为止的规定的工艺时间间隔)，一边实现高的处理量的要求。为了满足该严格的要求，在镀覆处理装置的基板搬运控制中，考虑能够制定最恰当的基板搬运计划的各种调度方法。作为该调度方法，已知一种使用模拟法来计算基板搬运行程表的基板处理装置(专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5620680号

发明所要解决的课题

在使用模拟法来计算基板搬运行程表的情况下，为了得到良好的处理量，基于预先给予的处理条件以及制约条件而对与调度相关联的多个参数的组合分别进行模拟计算，因此有计算量庞大且不适合于基板处理装置的实际运用的问题。作为该解决策略，考虑在设计时，相对于设想的工艺方案条件而检索处理量值最大的参数设定，从而锁定到被认为是最佳的参数范围。在实际的基板处理执行时，对这些各种各样的参数进行基板搬运模拟，对处理量的评价值进行测量，并从中选择得到最大处理量值的参数。如此，有必要事先从大量存在的参数群之中锁定到被认为是最佳的参数范围，从而使实际运用时的模拟计算时间缩短，且在基板的处理开始时不产生障碍。

但是，为了使搭载于装置时的模拟计算时间收纳于不对实际运用产生障碍的计算时间的范围内，并且为了预先准备被认为是最佳的参数范围，需要长时间(例如五小时)的事先的计算处理。另外，事先准备的被认为是最佳的参数范围是基于设想的工艺方案条件而确定的，因此产生如下问题：在附加设想的工艺方案以外的条件的情况、基板处理装置处于故障等的非稳定状态的情况下，不能达成良好的处理量。

发明内容

本发明是鉴于上述点而完成的。其目的在于，削减基板搬运行程表所需的计算量以及计算时间，且在任何条件下都能得到良好的处理量。

解决课题的手段

根据第一方式，提供一种调度器，内装于基板处理装置的控制部，该基板处理装置具备：进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、以及对所述搬运部和所述基板处理部进行控制的所述控制部，所述调度器计算基板搬运行程表。该调度器具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将所述基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于所述最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。