[发明专利]调度器、基板处理装置以及基板搬运方法

权利要求书

1.一种调度器，内装于基板处理装置的控制部，该基板处理装置具备：进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、以及对所述搬运部和所述基板处理部进行控制的所述控制部，所述调度器计算基板搬运行程表，所述调度器的特征在于，

具有：

模型化部，该模型化部使用网络图理论而将所述基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及

计算部，该计算部基于所述最长路径长度而计算所述基板搬运行程表，

所述基板处理部具有镀覆处理部，该镀覆处理部对保持于基板保持架的所述基板进行镀覆处理，

所述搬运部具有前段搬运部和后段搬运部，该前段搬运部在收容所述基板的基板收纳容器与相对于所述基板保持架装卸所述基板的固定站之间对基板进行搬运，该后段搬运部在所述固定站与所述镀覆处理部之间对基板进行搬运，

所述基板处理装置具有装置前段部和装置后段部，该装置前段部包含所述前段搬运部，该装置后段部包含所述镀覆处理部以及所述后段搬运部，

所述模型化部将所述装置前段部以及所述装置后段部的处理条件、处理时间以及制约条件分别模型化，分别生成所述装置前段部的前段侧网络图和所述装置后段部的后段侧网络图，

所述调度器还具有结合部，该结合部进行将所述前段侧网络图和所述后段侧网络图结合的处理，并且进行到各点的最长路径长度的计算，

所述计算部基于由所述结合部算出的到所述各点的最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。

2.根据权利要求1所述的调度器，其特征在于，

将指定的所述基板的处理个数分割为任意个数的小批次，

所述模型化部生成所述小批次的量的所述前段侧网络图和所述小批次的量的所述后段侧网络图，

所述结合部将所述小批次的量的所述前段侧网络图和所述小批次的量的所述后段侧网络图结合，

所述调度器重复进行所述小批次的量的所述前段侧网络图和所述小批次的量的所述后段侧网络图的生成以及结合，直到指定的处理个数为止。

3.根据权利要求1所述的调度器，其特征在于，

具有检测部，该检测部对所述基板处理装置是否转换到非稳定状态进行检测，

在所述检测部检测到所述基板处理装置转换到非稳定状态时，所述模型化部使用网络图理论而将所述非稳定状态下的所述基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算，

所述计算部构成为基于所述非稳定状态下的到所述各点的最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。

4.根据权利要求3所述的调度器，其特征在于，

所述非稳定状态包含所述基板处理装置产生故障时的状态、维护基板保持架时的状态或维护阳极保持架时的状态。

5.一种基板处理装置，其特征在于，具备内装有权利要求1～4中任一项所述的调度器的所述控制部，

所述控制部构成为基于计算出的所述基板搬运行程表而对所述搬运部进行控制。