[发明专利]一种LTPS背板制作方法以及LTPS背板结构

摘要

本发明涉及LTPS制作技术领域，尤其涉及一种LTPS背板制作方法，包括以下步骤：将所述基板分为驱动区域和显示区域；在所述基板上淀积SiNX层，再蚀刻显示区域的SiNX层；在所述基板上再淀积SiNX层，令所述基板上的驱动区域和显示区域覆盖形成台阶状的SiNX层；在所述基板上淀积SiO2层，再蚀刻驱动区域的SiO2层；在所述基板上淀积SiO2层，令所述基板上的SiO2层呈平整的端面，令驱动区域SiNX/SiO2膜厚比大于显示区域SiNX/SiO2膜厚比。本发明的发明目的在于提供一种LTPS背板制作方法，采用本发明提供的技术方案解决了现有LTPS无法同时满足外围驱动区域的TFT具有良好的开关特性和像素显示区域的TFT具有较佳的均匀性和可靠性的技术问题。

主权项

1.一种LTPS背板制作方法，其特征在于：包括以下步骤：1)、将所述基板分为驱动区域和显示区域；2)、在所述基板上淀积SiNx层，再蚀刻显示区域的SiNx层；3)、在所述基板上再淀积SiNx层，令所述基板上的驱动区域和显示区域覆盖形成台阶状的SiNx层；4)、在所述基板上淀积SiO2层，再蚀刻驱动区域的SiO2层；5)、在所述基板上淀积SiO2层，令所述基板上的SiO2层呈平整的端面，令驱动区域SiNX/SiO2膜厚比大于显示区域SiNX/SiO2膜厚比。