[实用新型]一种磁传感器有效
申请号: | 201721875900.6 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN207938659U | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 巫远招;刘宜伟;李润伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L41/12 | 分类号: | H01L41/12;H01L41/06 |
代理公司: | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人: | 单英 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种磁传感器,具有场效应晶体管结构,包括半导体衬底、源极、漏极与栅极;其中,半导体衬底具有压电效应,半导体衬底上设置具有磁致伸缩性能的磁体;工作状态时,外界磁场作用于磁体,场效应晶体管的电信号发生改变,通过测试该电信号的变化实现该外界磁场的探测。该磁传感器结构简单易行,结合了场效应晶体管的信号放大作用,实现了高灵敏度的磁场探测,在磁传感器技术领域中具有良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 磁传感器 衬底 半导体 外界磁场 场效应晶体管结构 场效应晶体管 磁传感器结构 磁致伸缩性能 信号放大作用 本实用新型 效应晶体管 磁场探测 高灵敏度 压电效应 漏极 源极 探测 测试 应用 | ||
【主权项】:
1.一种磁传感器,其特征是:具有场效应晶体管结构,包括具有压电效应的半导体衬底,以及与半导体衬底相电连接的源极、漏极与栅极;其中,半导体衬底上设置具有磁致伸缩性能的磁体;工作状态时,外界磁场作用于磁体,场效应晶体管的电信号发生改变,通过测试该电信号实现该外界磁场的探测。
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