[实用新型]一种磁传感器有效

专利信息
申请号: 201721875900.6 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN207938659U 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 巫远招;刘宜伟;李润伟 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: H01L41/12 分类号: H01L41/12;H01L41/06
代理公司: 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 代理人: 单英
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种磁传感器,具有场效应晶体管结构,包括半导体衬底、源极、漏极与栅极;其中,半导体衬底具有压电效应,半导体衬底上设置具有磁致伸缩性能的磁体;工作状态时,外界磁场作用于磁体,场效应晶体管的电信号发生改变,通过测试该电信号的变化实现该外界磁场的探测。该磁传感器结构简单易行,结合了场效应晶体管的信号放大作用,实现了高灵敏度的磁场探测,在磁传感器技术领域中具有良好的应用前景。
搜索关键词: 磁传感器 衬底 半导体 外界磁场 场效应晶体管结构 场效应晶体管 磁传感器结构 磁致伸缩性能 信号放大作用 本实用新型 效应晶体管 磁场探测 高灵敏度 压电效应 漏极 源极 探测 测试 应用
【主权项】:
1.一种磁传感器,其特征是:具有场效应晶体管结构,包括具有压电效应的半导体衬底,以及与半导体衬底相电连接的源极、漏极与栅极;其中,半导体衬底上设置具有磁致伸缩性能的磁体;工作状态时,外界磁场作用于磁体,场效应晶体管的电信号发生改变,通过测试该电信号实现该外界磁场的探测。
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