[实用新型]一种离子植入机及其气体冷却监控系统

摘要

本实用新型提供一种离子植入机及其气体冷却监控系统，包括：反应腔室，设置于所述反应腔室内的冷却台，所述冷却台通过设置于所述冷却台底部的冷气管路与供气装置连接，所述冷气管路上设置有第一单向阀，所述第一单向阀与所述冷却台之间的冷气管路上连接有真空计；连接于所述离子植入机的数据采集模块；从所述数据采集模块获取所述离子植入机的工作数据，并根据工作数据对所述离子植入机进行控制的数据监测控制模块。本实用新型通过设置于冷却台底部的冷气输入端的真空计，实时监测离子植入过程中气体冷却系统的工作状态，避免晶圆表面光刻胶产生糊胶现象，提高晶圆成品率。 1

主权项

1.一种离子植入机，其特征在于，所述离子植入机至少包括：

反应腔室，设置于所述反应腔室内的冷却台，所述冷却台通过设置于所述冷却台底部的冷气管路与供气装置连接，所述冷气管路上设置有第一单向阀，所述第一单向阀与所述冷却台之间的冷气管路上连接有真空计。

2.根据权利要求1所述的离子植入机，其特征在于：所述冷却台的底部设置有冷气管路连接口，所述冷却台的上表面设置有出气口，所述冷气管路连接口与所述出气口通过所述冷却台内部的气体通路连接。

3.根据权利要求2所述的离子植入机，其特征在于：所述冷却台为圆形结构，所述出气口设置于所述冷气台上表面的外侧圆周上。

4.根据权利要求1所述的离子植入机，其特征在于：所述第一单向阀与所述供气装置之间设置有一三通阀；所述三通阀分别连接所述单向阀、所述供气装置及一排气装置，所述排气装置与所述三通阀之间的排气管路上设置有第二单向阀。

5.根据权利要求1所述的离子植入机，其特征在于：所述供气装置的输出端设置有流量控制装置。

6.一种离子植入机的气体冷却监控系统，其特征在于，所述离子植入机的气体冷却监控系统至少包括：

如权利要求1～5任意一项所述的离子植入机；

连接于所述离子植入机的数据采集模块；

从所述数据采集模块获取所述离子植入机的工作数据，并根据工作数据对所述离子植入机进行控制的数据监测控制模块。

7.根据权利要求6所述的离子植入机的气体冷却监控系统，其特征在于：所述数据采集模块连接所述离子植入机中各阀门、真空计及流量控制装置中的一个或几个。

8.根据权利要求6所述的离子植入机的气体冷却监控系统，其特征在于：所述数据采集模块还连接一直观显示监控数据的监控屏幕。

9.根据权利要求6所述的离子植入机的气体冷却监控系统，其特征在于：所述数据采集模块与所述数据监测控制模块之间还设置有对所有机台数据进行管理的IT数据中心。