[实用新型]一种电池片钝化处理装置有效
| 申请号： | 201721461947.8 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN207458898U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州昊建自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电池片钝化处理装置，其包括：传输装置，所述传输装置传送太阳电池片；工艺腔室，所述工艺腔室设置于所述传输装置上，在所述工艺腔室内对所述电池片进行钝化处理，所述工艺腔室包括沿传送线传送方向依次设置的至少一个加热腔室以及冷却腔室；每个所述加热腔室以及所述冷却腔室均设有排气装置，所述排气装置向所述工艺腔室外排出所述工艺腔室内的气体。通过在工艺腔室设置有排气装置，排出腔室内的气体，保证不同时间内进入工艺腔室内电池片的初始温度基本一致，不存在误差范围较大的温度差，从而保证电池片在工艺腔室内进行钝化处理的温度基本一致，经钝化处理后的电池片的转化率基本保持一致，电池片的质量基本相同。 | ||
| 搜索关键词： | 电池片 工艺腔 工艺腔室 室内 传输装置 钝化处理 排气装置 钝化处理装置 加热腔室 冷却腔室 本实用新型 太阳电池片 传送方向 依次设置 传送线 排出腔 温度差 排出 传送 室外 保证 | ||
【主权项】：
一种电池片钝化处理装置，其包括：传输装置，所述传输装置传送太阳电池片；工艺腔室，所述工艺腔室设置于所述传输装置上，在所述工艺腔室内对所述电池片进行钝化处理，所述工艺腔室包括沿传送线传送方向依次设置的至少一个加热腔室以及冷却腔室；其特征在于：每个所述加热腔室以及所述冷却腔室均设有排气装置，所述排气装置向所述工艺腔室外排出所述工艺腔室内的气体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
