[实用新型]喷嘴支架、工艺腔室和半导体处理设备

摘要

本实用新型公开了一种喷嘴支架、一种工艺腔室和一种半导体处理设备。喷嘴支架用于将喷嘴固定在顶盖上，包括本体，该本体上设置有安装孔，该安装孔用于放置喷嘴，顶盖上设置有至少一个旋紧配合槽，喷嘴支架还包括自本体向远离安装孔的方向凸出的至少一个旋紧配合部，该旋紧配合部与旋紧配合槽相对应，喷嘴支架相对顶盖具有锁止位置和拆卸位置；喷嘴支架处于锁止位置时，旋紧配合部旋入旋紧配合槽中，喷嘴支架处于拆卸位置时，旋紧配合部旋出旋紧配合槽。该结构的喷嘴支架，配合相应地顶盖，可以实现喷嘴支架与顶盖的快速拆装，且能够有效保护顶盖和喷嘴支架，避免出现损坏等现象发生，提高经济效益。

主权项

1.一种喷嘴支架，用于将喷嘴固定在顶盖上，所述喷嘴支架包括本体，所述本体上设置有安装孔，所述安装孔用于放置所述喷嘴，其特征在于，所述顶盖上设置有至少一个旋紧配合槽，所述喷嘴支架还包括自所述本体向远离所述安装孔的方向凸出的至少一个旋紧配合部，所述旋紧配合部与所述旋紧配合槽相对应，所述喷嘴支架相对所述顶盖具有锁止位置和拆卸位置；所述喷嘴支架处于所述锁止位置时，所述旋紧配合部旋入所述旋紧配合槽中，所述喷嘴支架处于所述拆卸位置时，所述旋紧配合部旋出所述旋紧配合槽。