[实用新型]一种碳化硅单晶制造设备有效
申请号: | 201720916088.0 | 申请日: | 2017-07-26 |
公开(公告)号: | CN207002871U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 李新奇 | 申请(专利权)人: | 郑州睿科生化科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B35/00 |
代理公司: | 北京方向标知识产权代理事务所(普通合伙)11636 | 代理人: | 段斌 |
地址: | 450001 河南省郑州市高新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种碳化硅单晶制造设备,包括装置本体和加热柜,所述装置本体的上端设置有原料存储箱,且所述原料存储箱与所述装置本体之间平行设置,所述原料存储箱的上表面设有转化片,所述原料存储箱的下端安装有砧板,所述装置本体的上表面设有反应器皿,所述加热柜的上端安装有控制器,利用报警器进行检测加热柜内的温度对原料的加热情况,避免因温度过高出现原料过火,温度过低原料欠火,有效的提高了装置本体的实用性,采用固定螺栓有效的将装置本体进行牢牢的固定,防止因松动对装置造成损坏,且操作简单,维修成本低,在未来具有很好的发展前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 制造 设备 | ||
【主权项】:
一种碳化硅单晶制造设备,包括装置本体(1)和加热柜(3),其特征在于:所述装置本体(1)的上端设置有原料存储箱(2),且所述原料存储箱(2)与所述装置本体(1)之间平行设置,所述原料存储箱(2)的上表面设有转化片(14),所述原料存储箱(2)的下端安装有砧板(16),所述装置本体(1)的上表面设有反应器皿(15),所述加热柜(3)的上端安装有控制器(5),且所述控制器(5)与所述加热柜(3)通过固定螺栓(8)固定连接,所述加热柜(3)的外侧设置有显示屏(4)和按钮(7),且所述显示屏(4)与所述加热柜(3)通过强力胶粘合,并且所述按钮(7)与显示屏(4)电性连接,所述加热柜(3)的底端设有滚轮(12),所述加热柜(3)的右端安装有传送带(11),且所述传送带(11)和加热柜(3)均嵌套设置在装置本体(1)左侧的表面上,所述砧板(16)的内侧设有高强度弹簧(18),所述高强度弹簧(18)的上端设有防护垫片(19)。
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