[实用新型]一种碳化硅单晶制造设备

权利要求书

1.一种碳化硅单晶制造设备，包括装置本体（1）和加热柜（3），其特征在于：所述装置本体（1）的上端设置有原料存储箱（2），且所述原料存储箱（2）与所述装置本体（1）之间平行设置，所述原料存储箱（2）的上表面设有转化片（14），所述原料存储箱（2）的下端安装有砧板（16），所述装置本体（1）的上表面设有反应器皿（15），所述加热柜（3）的上端安装有控制器（5），且所述控制器（5）与所述加热柜（3）通过固定螺栓（8）固定连接，所述加热柜（3）的外侧设置有显示屏（4）和按钮（7），且所述显示屏（4）与所述加热柜（3）通过强力胶粘合，并且所述按钮（7）与显示屏（4）电性连接，所述加热柜（3）的底端设有滚轮（12），所述加热柜（3）的右端安装有传送带（11），且所述传送带（11）和加热柜（3）均嵌套设置在装置本体（1）左侧的表面上，所述砧板（16）的内侧设有高强度弹簧（18），所述高强度弹簧（18）的上端设有防护垫片（19）。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶制造设备，其特征在于：所述装置本体（1）的右侧的表面安装有缓冲器（17），且所述缓冲器（17）与所述装置本体（1）之间紧密贴合。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶制造设备，其特征在于：所述原料存储箱（2）的左上端设有螺旋卡器（13），且所述螺旋卡器（13）嵌入设置在所述原料存储箱（2）内。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶制造设备，其特征在于：所述控制器（5）的一侧安装有报警器（6），且所述报警器（6）和控制器（5）均嵌套设置在加热柜（3）上。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶制造设备，其特征在于：所述加热柜（3）的一侧设有散热板（9），且所述散热板（9）与所述加热柜（3）固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶制造设备，其特征在于：所述加热柜（3）的左下端安装有气体填充口（10），且所述气体填充口（10）嵌入设置在所述加热柜（3）中。