[实用新型]一种碳化硅单晶制造设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及制造设备技术领域，具体为一种碳化硅单晶制造设备。

背景技术

碳化硅作为碳和硅唯一稳定的化合物，其晶格结构由致密排列的两个亚晶格组成，每个碳原子与周边包围的硅原子通过定向的强四面体SP3键结合，虽然碳化硅的四面体键很强，但层错形成能量却很低，这一特点决定了碳化硅的多型体现象。碳化硅的这些性能使其成为高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件的优选材料，可用于地面核反应堆系统的监控、原油勘探、环境监测及航空、航天、雷达、通讯系统和大功率的电子转换器及汽车马达等领域的极端环境中。另外，采用碳化硅所制备的发光二极管的辐射波长可以覆盖从蓝光到紫光的波段，在光信息显示系统及光集成电路等领域中具有广阔的应用前景。

但现有的碳化硅单晶制造设备，由于装置本体的设计不合理，制造碳化硅单晶时工作效率相对较差，采用固定版的卡器，无法进行上下间的移动，不能对存储箱内的原料进行调控，大大降低了存储箱的使用率，对于长时间的工作运行，碳化硅单晶设备不能很好的进行保护，降低了装置本体的使用寿命，且散热性能差，机器外观看似和其他机器相同，但因为一个螺栓的差别也会对装置造成损坏，且加热柜内的温度不好控制，使其维修成本高。

所以，如何设计一种碳化硅单晶制造设备，成为我们当前要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅单晶制造设备，以解决上述背景技术中提出由于装置本体的设计不合理，制造碳化硅单晶时工作效率相对较差，采用固定版的卡器，无法进行上下间的移动，不能对存储箱内的原料进行调控，大大降低了存储箱的使用率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅单晶制造设备，包括装置本体和加热柜，所述装置本体的上端设置有原料存储箱，且所述原料存储箱与所述装置本体之间平行设置，所述原料存储箱的上表面设有转化片，所述原料存储箱的下端安装有砧板，所述装置本体的上表面设有反应器皿，所述加热柜的上端安装有控制器，且所述控制器与所述加热柜通过固定螺栓固定连接，所述加热柜的外侧设置有显示屏和按钮，且所述显示屏与所述加热柜通过强力胶粘合，并且所述按钮与显示屏电性连接，所述加热柜的底端设有滚轮，所述加热柜的右端安装有传送带，且所述传送带和加热柜均嵌套设置在装置本体左侧的表面上，所述砧板的内侧设有高强度弹簧，所述高强度弹簧的上端设有防护垫片。

进一步的，所述装置本体的右侧的表面安装有缓冲器，且所述缓冲器与所述装置本体之间紧密贴合。

进一步的，所述原料存储箱的左上端设有螺旋卡器，且所述螺旋卡器嵌入设置在所述原料存储箱内。

进一步的，所述控制器的一侧安装有报警器，且所述报警器和控制器均嵌套设置在加热柜上。

进一步的，所述加热柜的一侧设有散热板，且所述散热板与所述加热柜固定连接。

进一步的，所述加热柜的左下端安装有气体填充口，且所述气体填充口嵌入设置在所述加热柜中。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种碳化硅单晶制造设备，结合了原料存储箱和加热柜结为一体，改进了原有的产品不能有效的制造碳化硅单晶工作效率的缺点，螺旋卡器的设置替换了无法进行上下间的移动的缺点，有效的对原料进行调控，增强了装置本体的便捷性，采用了散热板有效将热量散去，避免了因加热柜温度过高造成电子元件烧损，更换大面积元件的缺点，提高了加热柜的使用性，同时利用报警器进行检测加热柜内的温度对原料的加热情况，避免因温度过高出现原料过火，温度过低原料欠火，有效的提高了装置本体的实用性，采用固定螺栓有效的将装置本体进行牢牢的固定，防止因松动对装置造成损坏，且操作简单，维修成本低，在未来具有很好的发展前景。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型砧板局部的结构示意图；

图中：1-装置本体；2-原料存储箱；3-加热柜；4-显示屏；5-控制器；6-报警器；7-按钮；8-固定螺栓；9-散热板；10-气体填充口；11-传动带；12-滚轮；13-螺旋卡器；14-转换片；15-反应器皿；16-砧板；17-缓冲器；18-高强度弹簧；19-防护垫片。

具体实施方式