[发明专利]基板保持器、纵式基板输送装置以及基板处理装置在审
| 申请号： | 201711472810.7 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108300975A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 冈正;箱守宗人;织井雄一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 技术问题：提供一种能够抑制微粒的产生并容易进行基板装卸的基板保持器。解决手段：本发明的一个方式的基板保持器用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体、和吸附部。上述框体具有在上述基板的厚度方向上与上述基板的周缘部相对的相对面。上述吸附部设置在上述相对面，且构成为能够静电吸附上述基板的周缘部的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 基板保持器 基板输送装置 相对面 周缘部 框体 吸附 纵式 基板处理装置 静电吸附 立起姿势 装卸 | ||
【主权项】：
1.一种基板保持器，其用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体和吸附部，所述框体具有在所述基板的厚度方向上与所述基板的周缘部相对的相对面，所述吸附部设置在所述相对面，且构成为能够静电性地吸附所述基板的周缘部的至少一部分。
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