[发明专利]基板保持器、纵式基板输送装置以及基板处理装置

说明书

技术问题：提供一种能够抑制微粒的产生并容易进行基板装卸的基板保持器。解决手段：本发明的一个方式的基板保持器用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体、和吸附部。上述框体具有在上述基板的厚度方向上与上述基板的周缘部相对的相对面。上述吸附部设置在上述相对面，且构成为能够静电吸附上述基板的周缘部的至少一部分。

技术领域

本发明涉及一种能够以立起姿势保持基板的基板保持器、和具备其的纵式基板输送装置以及真空处理装置。

背景技术

近年来，广泛使用有载体循环型的直列溅射装置。这种直列溅射装置已知以使基板横卧的姿势进行输送的横型(水平)输送方式、和以使基板立起的姿势进行输送的纵式(垂直)输送方式。相较于横型输送方式，纵式输送方式具有的优点是：能够将因基板大型化而导致的装置设置面积的增加抑制在最小限度。

在纵式输送装置中，使用有以大致垂直的姿势输送基板的载体。对于载体，需要能够稳定地保持基板姿势的基板保持结构。例如在专利文献1中，记载了一种利用设置在载体的开口部周缘的多个夹具保持基板的结构。另外，在专利文献2中，公开了一种通过静电吸附来吸附搭载在载体上的基板背面(非成膜面)，从而防止基板的翘曲的结构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2008/133139号公报

专利文献2：日本专利公开2007-96056号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

然而，在专利文献1的结构中，基板周边的机械式夹持机构所产生的微粒(particle)可能会附着在基板上而造成成膜不良。另外，在专利文献2所述的结构中，静电吸附部设置在保持基板背面的内板上，因此存在基板对于载体的装卸操作复杂的问题。

鉴于如上所述的问题，本发明的目的在于，提供一种能够抑制微粒的产生并容易进行基板装卸的基板保持器、和具备其的纵式基板输送装置以及基板处理装置。

(二)技术方案

为了达成上述目的，本发明的一个方式的基板保持器用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备：框体、和吸附部。

上述框体具有在上述基板的厚度方向上与上述基板的周缘部相对的相对面。

上述吸附部设置在上述相对面，且构成为能够静电吸附上述基板的周缘部的至少一部分。

上述基板保持器构成为通过在与基板的周缘部相对的框体的相对面上设置的吸附部而静电性地吸附基板，因此，相较于使用夹持机构的基板保持结构，能够抑制微粒的产生。

另外，吸附部设置在与基板的周缘部相对的框体的相对面上，因此至少将基板背面(非成膜面)维持在开放状态。由此，通过对被开放的基板背面使用可以接近(access)的输送机器人，能够容易地进行基板对框体的装卸。

上述框体也可以进一步具有框状的掩膜部，该掩膜部划定上述基板的成膜区域。在该情况下，上述相对面设置在与上述基板的周缘部相对的上述掩膜部的一部分上。

根据该结构，能够通过掩膜部划定基板的成膜区域，并保持基板的成膜面的周缘部。

上述吸附部也可以具有设置在上述相对面上的多个卡盘区域。上述多个卡盘区域分别含有卡盘用电极。

由此，能够吸附基板的周缘部的多处，因此能够稳定地保持基板。

上述基板保持器也可以进一步具备电源电路，该电源电路设置在上述框体，并能够向上述多个卡盘区域供给电力。

由此，能够不需要设置来自外部的电源供给线。