[发明专利]基板保持器、纵式基板输送装置以及基板处理装置在审
| 申请号： | 201711472810.7 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108300975A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 冈正;箱守宗人;织井雄一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板 基板保持器 基板输送装置 相对面 周缘部 框体 吸附 纵式 基板处理装置 静电吸附 立起姿势 装卸 | ||
1.一种基板保持器，其用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体和吸附部，
所述框体具有在所述基板的厚度方向上与所述基板的周缘部相对的相对面，
所述吸附部设置在所述相对面，且构成为能够静电性地吸附所述基板的周缘部的至少一部分。
2.根据权利要求1所述的基板保持器，其特征在于，
所述框体还具有框状的掩膜部，该掩膜部划定所述基板的成膜区域，
所述相对面设置在与所述基板的周缘部相对的所述掩膜部的一部分上。
3.根据权利要求1或2所述的基板保持器，其特征在于，
所述吸附部具有设置在所述相对面上的多个卡盘区域，
所述多个卡盘区域分别含有卡盘用电极。
4.根据权利要求3所述的基板保持器，其特征在于，还具备电源电路，该电源电路设置在所述框体，并能够向所述多个卡盘区域供给电力。
5.根据权利要求4所述的基板保持器，其特征在于，所述电源电路具有能够个别地向所述多个卡盘区域供给电力的控制部。
6.一种纵式基板输送装置，其具备基板保持器、和输送单元，
所述基板保持器具有：框体，其具有在所述基板的厚度方向上与基板的周缘部相对的相对面；吸附部，其设置在所述相对面，且构成为能够静电性地吸附所述基板的周缘部的至少一部分，
所述输送单元以立起姿势输送所述基板保持器。
7.一种基板处理装置，其具备基板保持器、输送单元、和处理单元，
所述基板保持器具有：框体，其具有在所述基板的厚度方向上与基板的周缘部相对的相对面；吸附部，其设置在所述相对面，且构成为能够静电性地吸附所述基板的周缘部的至少一部分，
所述输送单元以立起姿势输送所述基板保持器，
所述处理单元对由所述基板保持器所保持的所述基板进行处理。
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